Практические аспекты плазмохимического травления (ПХТ)

Механизм удаления материала в процессе реактивного ионно-плазменного травления (РИПТ), определение его анизотропии. Наиболее распространенные системы РИПТ. Классификация методов контроля плазменных процессов. Особенности и недостатки зондовых методов.

Рубрика Химия
Предмет Процессы и аппараты химической технологии
Вид презентация
Язык русский
Прислал(а) chastinvest
Дата добавления 02.10.2013
Размер файла 3,1 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Понятие и общая характеристика алюминия, его свойства. Особенности электрохимической обработки металлов. Специфика применения анодирования, полирования, эматалирования и травления сплавов и алюминия. Использование исследуемых процессов в полиграфии.

    курсовая работа [41,0 K], добавлен 31.05.2013

  • Газовая хроматография - один из наиболее перспективных физико-химических методов исследования, бурно развивающийся в настоящее время. Классификация хроматографических методов. Различные характерные признаки процесса. Сущность методов хроматографии.

    реферат [30,3 K], добавлен 25.01.2010

  • Классификация методов дегазации воды и теоретические основы процесса удаления углекислоты, сероводорода и кислорода. Установка обескислороживания с помощью ионообменника с палладием. Технология удаления метана из подземных вод вакуумным способом.

    реферат [562,3 K], добавлен 09.03.2011

  • Загрязнение вод нефтепродуктами. Понятие, виды и классификация эмульсий; их устойчивость. Математическая модели и механизм протекания коалесценции. Преимущества применения мембранных методов и ультрафильтрации для удаления нефтепродуктов из сточных вод.

    дипломная работа [2,5 M], добавлен 11.07.2014

  • Сущность и содержание ионно-парной хроматографии, ее использование в жидкостной хроматографии и экстракции для извлечения лекарств и их метаболитов из биологических жидкостей в органическую фазу. Варианты ионно-парной хроматографии, отличительные черты.

    реферат [28,7 K], добавлен 07.01.2010

  • Обзор методов качественного и количественного определения нитрит-ионов. Характеристика и особенности разнообразия методов определения нитрит-ионов. Метрологические особенности и погрешности тест-методов. Тестовое хемосорбционное определение нитрит-иона.

    курсовая работа [91,9 K], добавлен 30.10.2009

  • Особенности, характерные для перекиси водорода как химического вещества. Разработка потенциометрических методов контроля концентрации Н2О2. Разработка электрода, который наиболее полно удовлетворял уравнению Нернста. Абсолютное значение потенциалов.

    курсовая работа [2,5 M], добавлен 24.02.2015

  • Определение изменения структуры в высоконаполненном каучуке по параметрам акустической волны, проходящей через образец, при одноосном растяжении. Оценка анизотропии материала, наличия дефектов и их пространственного расположения, величины деформаций.

    статья [717,0 K], добавлен 03.03.2010

  • Химическая характеристика и свойства металлов, их расположение в периодической системе элементов. Классификация металлов по различным признакам. Стоимость металла как фактор возможности и целесообразности его применения. Наиболее распространенные сплавы.

    контрольная работа [13,4 K], добавлен 20.08.2009

  • Сущность и классификация методов кислотно-основного титрования, применение индикаторов. Особенности комплексонометрического титрования. Анализ методов осадительного титрования. Обнаружение конечной точки титрования. Понятие аргенометрии и тицианометрии.

    контрольная работа [28,3 K], добавлен 23.02.2011

  • Характеристика химических процессов, в результате которых в органические соединения вводятся атомы галогена. Значения тепловых эффектов реакций галогенирования. Описание механизма газофазного и ионно-каталитического хлорирования, процессов расщепления.

    презентация [0 b], добавлен 07.08.2015

  • Специфика химии как науки. Магическая матрица периодической системы химических элементов. Ковалентные, полярные и ионно-ковалентные химические связи. Термодинамический и кинетический методы. Роль ферментов, биорегуляторов в процессе жизнедеятельности.

    курсовая работа [989,1 K], добавлен 17.11.2014

  • Исследование процессов модификации полимеров добавками эластомеров, роль фазовой структуры композиционного материала. Характеристика свойств олигомерных каучуков, механизм структурообразования и совместимость компонентов модифицированных систем.

    контрольная работа [472,3 K], добавлен 22.02.2010

  • Применение полуэмпирических методов для оценки основных термодинамических параметров химических реакций. Параметры метода INDO. Сущность популярных современных методов MNDO, AM1, PM3, MNDO-d. Расчет молекулярных характеристик, геометрии молекулы.

    курсовая работа [174,0 K], добавлен 01.03.2015

  • Сущность понятия диффузия. Классификация методов экспериментального исследования. Феноменологическая теория диффузии. Описание безградиентных методов. Основа молекулярно-кинетической теории, ее возможности. Термодинамическая сторона диффузионных явлений.

    реферат [22,7 K], добавлен 20.01.2010

  • Обзор и анализ существующих методов оптимизации химико-технологических процессов. Определение параметров уравнения Аррениуса. Определение оптимальной температуры. Расчёт зависимости оптимальной скорости химической реакции от степени превращения.

    курсовая работа [498,1 K], добавлен 18.06.2015

  • Понятие и назначение химических методов анализа проб, порядок их проведения и оценка эффективности. Классификация и разновидности данных методов, типы проводимых химических реакций. Прогнозирование и расчет физико-химических свойств разных материалов.

    лекция [20,3 K], добавлен 08.05.2010

  • Исследование основных загрязнителей оборотных вод и факторов, влияющих на качество воды. Характеристика методов удаления грубодисперсных примесей из воды, классификации очистных фильтров. Описания обессоливания воды в установках с неподвижным слоем.

    реферат [676,7 K], добавлен 11.10.2011

  • Анализ методов получения тройных соединений в системе оксидов Bi2O3-PbO, практическая проверка их термодинамических свойств. Исследование энтропии в стандартных условиях и при фазовых превращениях, теплоемкости для расчетных и экспериментальных методов.

    курсовая работа [479,3 K], добавлен 23.11.2011

  • Наиболее распространенные кислородсодержащие соединения нефти: кислоты и фенолы. Структурно-групповой анализ керосиновых и масляных фракций. Изучение смолисто-асфальтеновых веществ. Определение индивидуального состава нефтепродуктов и содержания азота.

    реферат [30,2 K], добавлен 02.03.2012

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.