Размещено на http://www.allbest.ru/

Министерство образования и науки Российской Федерации

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования

«Российский государственный университет нефти и газа имени И. М. Губкина»

Кафедра промышленной экологии

Специальность: 241000

Курсовая работа

на тему: Нанотехнологии в метрологии или нанометроогия

Студентка:

Аврора В.Б.

Москва 2015 г

Оглавление

Введение

1. История нанометрологии

2. Продвижение линейной шкалы в нанометровый диапазон

3. Нормативно-методическая база

Введение

Развитие всех сфер экономики идет по пути научно-технического прогресса. В 20 веке состояние экономики высокоразвитых стран определялось в значительной степени развитием, т. н., «высоких технологий» в авиации, космонавтике, ядерной энергетике, электронике, а в конце века микроэлектронике и информатике. Начало 21 века охарактеризовалось созданием нового направления в науке и технике -- нанотехнологии.

Во всем мире идет стремительное развитие нанотехнологии в научном, техническом и приклад- ном плане, включая решение многих экономических и социальных задач, что предопределяет необходимость системного подхода как в организации самих научных исследований, так и во внед- рении их результатов в различные сферы экономической жизни общества. В целом фронт нанотехнологических исследований охватывает широкие области науки и техники -- от электроники и информатики до сельского хозяйства, в кото- ром возрастет роль генно-модифицированной продукции. В числе разработок, результаты которых просматриваются в ближайшие 5--10 лет, -- электроника и информационные технологии на основе новых материалов, новых устройств, новых условий и техники монтажа, новых нанопозиционеров, новых методов записи и считывания информации, новых устройств фотоники в оптических линиях связи. В числе перспективных проектов, по прогнозам аналитиков, -- наноматериалы (нанотрубки, мате- риалы для солнечной энергетики, топливные элементы нового типа), биологические наносистемы, наноустройства на основе наноматериалов, наноизмерительная техника, нанообработка.

Все страны, вступившие в нанотехнологический прорыв, прекрасно представляют необходимость опережающего развития метрологии в этой бурно развивающейся области знания. Ведь именно уровень точности и достоверности измерений способен либо стимулировать развитие соответствующих отраслей экономики, либо служить сдерживающим фактором. Особо это подчеркивает то обстоятельство, что в нанотехнологиях приборно-аналитическая и технологическая составляющие работают на пределе своих возможностей, что увеличивает вероятность ошибки, тем более связанной с человеческим фактором.[1]

1. История нанометрологии

История развития науки и техники неразрывно связана с развитием системы, методов и средств измерений. Переход к нанотехнологии поставил перед наукой и техникой ряд новых специфических задач, обусловленных малыми размерами элементов и структур, с которыми имеет дело нанотехнология.

Здесь, как нигде более, актуален тезис ?если нельзя измерить, то невозможно создать?. Все страны, вступившие в нанотехнологический прорыв, прекрасно представляют необходимость опережающего развития метрологии в этой бурно развивающейся области знания, поскольку именно уровень точности и достоверности измерений способен либо стимулировать развитие соответствующих отраслей экономической жизни общества, либо служить сдерживающим фактором.

Что есть метрология? С одной стороны -- это наука об измерениях, методах и средствах достижения их повсеместного единства и требуемых точностей измерений. С другой стороны -- это институт обеспечения единства измерений в стране, включающий стандартизацию единиц физических величин, их воспроизведение с наивысшей в стране точностью с помощью государственных эталонов и передачу размеров единиц физических величин иерархическим образом сверху вниз всем средствам измерений (приборам), допущенным к применению на территории страны.

Главная задача метрологии -- обеспечение единства измерений, т. е. достижение такого состояния, при котором результаты измерений выражены в узаконенных единицах и погрешности измерений известны с заданной вероятностью. Мы совершенно не задумываемся, пользуясь обычной школьной линейкой, что ее шкала иерархически привязана к государственному эталону метра. Ввиду этого различные пользователи различных линеек, измеряя длину одного и того же объекта, получают один и тот же результат (естественно, в рамках определенной погрешности). В этом и состоит смысл обеспечения единства измерений.

Специфической особенностью нанотехнологий является их междисциплинарный характер, при котором одно и то же явление, обусловленное масштабным эффектом, может быть использовано в различных отраслях экономической жизни общества, как-то: информационно-телекоммуникационные технологии, медицина, фармакология, производство новых материалов и материаловедение, сельское хозяйство, диагностика болезней на ранних стадиях, экология и многое др. Междисциплинарный характер нанотехнологий, различная терминология и различные исследовательские, технологические и измерительные подходы и методы, используемые в различных отраслях различными научными центрами и лабораториями, привели к некой разобщенности, затрудняющей осуществление успешного обмена технической информацией. Этим обстоятельством, в первую очередь, инициировано создание Технического комитета ИСО (Международная организация по стандартизации) ИСО/ТК 229 ?Нанотехнологии? [2]. Свое первое заседание ИСО/ТК 229 провел 9--11 ноября 2005 г. в Лондоне. Организатор заседания -- Британская организация по стандартизации, которая и осуществляет ведение секретариата этого комитета.

Первоочередные задачи ИСО/ТК 229, сформулированные участниками заседания -- странами-участниками ИСО, крайне заинтересованными в развитии этой области человеческого знания, состоят в стандартизации в области нанотехнологий в следующих направлениях: термины и определения, метрология и методы испытаний и измерений, стандартные образцы состава и свойств, моделирование процессов, медицина и безопасность, воздействие на окружающую среду.

Решение этих первоочередных задач даст мощный импульс развитию нанотехнологий и их практическим применениям и внедрениям в различных отраслях. Область деятельности Технического комитета ИСО/ТК 229, как и следует из названия, -- стандартизация в нанотехнологиях. При этом под нанотехнологиями подразумевается следующее:

· знание и управление процессами, как правило, в масштабе нанометра, но не исключающее масштаб менее 100 нанометров, в одном или более измерениях, когда ввод в действие размерного эффекта (явления) приводит к возможности новых применений;

· использование свойств объектов и материалов в нанометровом масштабе, которые отличаются от свойств свободных атомов или молекул, а также от объемных свойств вещества, состоящего из этих атомов или молекул, для создания более совершенных материалов, приборов, систем, реализующих эти новые свойства.

Специфика нанотехнологий привела к развитию нового направления в метрологии -- нанометрологии, с которой связаны все теоретические и практические аспекты метрологического обеспечения единства измерений в

нанотехнологиях. В первую очередь -- это эталоны физических величин и эталонные установки, а также стандартные образцы состава, структуры и свойств для обеспечения передачи размера единиц физических величин в нанодиапазон. Во-вторых, это аттестованные или стандартизованные методики измерений физико-химических параметров и свойств объектов нанотехнологий, а также методики калибровки (поверки) самих средств измерений, применяемых в нанотехнологиях. В-третьих, это метрологическое сопровождение самих технологических процессов производства материалов, структур, объектов и иной продукции нанотехнологий. Здесь уместно подчеркнуть, что именно недостаточный уровень метрологии в отечественной микроэлектронике, в т. ч. и в сопровождении технологических процессов, сыграл свою негативную роль среди прочих факторов, приведших ее к нынешнему состоянию.

И наконец, мероприятия государственной метрологической службы (Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии -- Ростехрегулирование), ведомственных метрологических служб и метрологических служб юридических лиц по обеспечению единства измерений, включая государственные испытания с целью утверждения типа вновь произведенных или импортируемых средств измерений, надзор за состоянием и применением находящихся в эксплуатации средств измерений, обеспечение прослеживаемости передачи размера единиц физических величин в нанодиапазон всем применяемым средствам измерений, метрологическую экспертизу стандартов и иных нормативных документов, организацию службы стандартных справочных данных, участие в работе международных метрологических организаций и т.д.

С метрологией тесным взаимопроникающим образом связана стандартизация (рис. 1). Одна из первоочередных задач стандартизации -- стандартизация параметров и свойств материалов, объектов, элементов и структур нанотехнологий, подлежащих измерениям. При межотраслевом и междисциплинарном характере нанотехнологий, различной терминологии и

различным исследовательским и измерительным приемам и методам -- это непростая, последовательно решаемая задача, несущая в себе позитив объединяющего начала. К этой же проблеме вплотную примыкает необходимость стандартизации терминов и определений в нанотехнологиях, направленная на решение проблематики общения и взаимопонимания различных групп исследователей не только внутри одной отдельно взятой

страны, но и в рамках междисциплинарного обмена информацией между странами. Отсюда закономерное следствие -- необходимость наличия аттестованных и стандартизованных методик выполнения измерений, методик калибровки и поверки средств измерений, применяемых в нанотехнологиях, и многое другое, что перечислялось в задачах нанометрологии.

Особый аспект стандартизации -- решение задач обеспечения здоровья и безопасности операторов технологических процессов, равно как и лиц, взаимодействующих с продукцией нанотехнологий на всех этапах ее производства, испытаний, исследований и применений, а также экологической безопасности окружающей среды.

Что из себя представляет сертификация? Это не что иное, как

подтверждение соответствия параметров и свойств объектов, материалов и структур, технологических процессов, а также инструментальной и измерительной базы требованиям технических регламентов, стандартов и иных нормативных документов.

Логически следует, что ?наибольший статвес? приходится на метрологию, поскольку именно она является количественным базисом стандартизации и сертификации.

В рамках Технического комитета Международной организации по

стандартизации ИСО/TК 229 ?Нанотехнологии?, секретариат которого ведет Британский институт стандартов, подкомитет по метрологии, методам измерений и испытаний за Японией; термины и определения -- за Канадой; здоровье, безопасность, окружающая среда -- за Соединенными Штатами Америки.

В России подобные задачи решаются в рамках Технического комитета по стандартизации ТК 441 ?Наукоемкие технологии? Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование). Секретариат ТК 441 ведет Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума Ростехрегулирования (НИЦПВ). В ТК 441 ?Наукоемкие технологии? входят подкомитеты: ПК 1 ?Нанотехнологии?, ПК 2 ?Квантоворазмерные эффекты в наукоемких технологиях?, ПК 3 ?Термины и определения?, ПК 4 ?Методы и средства обеспечения единства измерений в нанотехнологиях?, ПК 5 ?Нанотехнологии в микроэлектронике?, ПК 6 ?Материалы, структуры и объекты нанотехнологии?, ПК 7 ?Нанотехнологии и наноиндустрия?. В составе ТК 441 ?Наукоемкие технологии? следующие организации: Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Институт радиотехники и электроники РАН, Институт кристаллографии РАН, Физико-технологический институт РАН, Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Институт общей физики им. А.М.Прохорова РАН, Центр фотохимии РАН, Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Институт физики полупроводников СО РАН, Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН, Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Государственный научно-исследовательский и проектный

институт редкометаллической промышленности (Гиредмет), фирма НТ-МДТ, Центральный научно-исследовательский технологический институт ?Техномаш?, Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Московский институт стали и сплавов, Московский физико-технический институт.

Участие Российской Федерации в деятельности Технического комитета ИСО/ТК 229 ?Нанотехнологии? закреплено за Научно-исследовательским центром по изучению свойств поверхности и вакуума, ведущим Российский технический комитет ТК 441 ?Наукоемкие технологии?.

Уместно отметить, что Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума является также членом Международной ассоциации производителей материалов, оборудования и технологий для полупроводниковой промышленности и плоско-панельных дисплеев (Semiconductor Equipment and Materials International, SEMI). Многим хорошо известны стандарты СЕМИ в части материалов, оборудования, сопровождения технологических процессов и т.д.

В рамках Международной организации КООМЕТ по Евроазиатскому сотрудничеству в областиметрологии согласован проект ?Метрологическое обеспечение нанотехнологий?, посвященный решению фундаментальных проблем метрологии в нанотехнологиях. Страны-участники: Россия, Белоруссия, Украина, Словакия, Германия. Координатором проекта -- Научно-исследовательским центром по изучению свойств поверхности и вакуума на настоящий момент разработаны проект концепции метрологического обеспечения нанотехнологий и технология передачи размера единиц физических величин в нанодиапазон.

Из самого определения нанотехнологии, оперирующей с объектами нанометровой протяженности, естественным образом следует первоочередная задача измерений геометрических параметров объекта, что в свою очередь обуславливает необходимость обеспечения единства линейных измерений в нанометровом диапазоне. Но этим обстоятельством роль нанометрологии линейных измерений не исчерпывается. Метрология линейных измерений в неявном виде присутствует в подавляющем большинстве методов и средств обеспечения единства измерений физико-химических параметров и свойств объектов нанотехнологии, таких как механические, оптические, электрические, магнитные, акустические и т.д. Во многом из перечисленного необходимо осуществлять прецизионное пространственное позиционирование зонда измерительного устройства в место требуемого съема измерительной информации. При этом диапазон линейного сканирования по каждой координате может простираться от единиц нанометра до сотен и более микрометров, а требуемая точность выставления координаты составлять десятые доли нанометра.

Почему нанометрология столь большое внимание уделяет проблеме реализации линейной шкалы в нанометровом и прилегающем к нему диапазонах? В первую очередь потому, что первоочередная задача метрологии в нанотехнологиях -- обеспечение единства измерений геометрических параметров нанообъекта, опирающаяся на метрологию линейных измерений. Во-вторых, как указывалось выше, измерения механических, электрических, магнитных, оптических и многих других параметров и свойств объекта нанотехнологии требуют осуществления позиционирования зонда измерительного устройства в требуемое место с эталонной точностью.

Обеспечение единства измерений физико-химических параметров и свойств объекта измерения требует привязки соответствующего средства измерения к эталону, воспроизводящему единицу данной физической величины (например, проводимости к эталонному сопротивлению), а в нано-

технологиях в большинстве своем требуется еще и обязательная привязка к базисному эталону единицы длины (рис. 2), в обеспечение ?точности попадания в цель?. Этим дуализмом не ограничивается уникальность базисного эталона. Если обратить внимание на параметры, то видно, что диапазон измерений длины от единиц нанометров до сотен и более микрометров перекрывает более пяти порядков значений измеряемой величины при точности измерений в десятые-единицы нанометра во всем диапазоне.

Фундаментальные исследования, связанные с прямыми измерениями физико-химических параметров веществ и материалов нанотехнологии, элементов и устройств нанотехники, требуют понимания закономерностей взаимодействия измерительного средства с объектом измерения. Особую важность приобретают вопросы метрологии и стандартизации таких измерений, метрологического обеспечения, вопросы передачи размера единицы физической величины в нанометровый диапазон [3,4], характеризующийся своими специфическими особенностями.

Рис. 2. Метрологический эталонный комплекс и метрологическое обеспечение наноиндустрии.

2. Продвижение линейной шкалы в нанометровый диапазон

В настоящее время вся деятельность человека может быть охвачена единой шкалой размеров (рис. 3). Во главе этой шкалы стоит Первичный эталон единицы длины -- метр. Разные отрасли экономической деятельности человека занимают разные области на этой шкале.

Рис. 3. Шкала линейных размеров в экономической деятельности человека.

В конце 20 -- начале 21 веков на передний план развития выдвигаются высокие технологии, главными из которых являются микроэлектроника и нанотехнология. Микроэлектроника оперирует с элементами рельефа поверхности твердого тела, имеющими минимальные размеры (критические размеры -- КР) менее сотни нанометров, и в ближайшие годы ожидается переход к десяткам нанометров, а нанотехнология оперирует с характерными размерами от сотен нанометров до десятых долей нанометра (расстояние между атомами в твердом теле). При этом необходимо учесть, что эволюция технологии микроэлектроники в нанометровую область опережает прогнозы аналитиков. Так, недавно появились сообщения о готовности передовых производителей микросхем к выпуску их по технологии 45 нм в самое ближайшее время, в то время как согласно Программе США [5], заканчивающейся в 2010 г., критические размеры 70 нм должны были быть достигнуты в 2010 г., а согласно Международной программе [6] критические размеры 65 нм должны были быть достигнуты в 2007 г.

Эти обстоятельства подчеркивают необходимость решения проблемы создания методов и средств линейных измерений в нанометровом диапазоне и обеспечения единства таких измерений с абсолютной привязкой к Первичному эталону длины -- метру.

3. Нормативно-методическая база

В обеспечение нормативно-методической базы нанометрологии разработаны, введены и последовательно вводятся в действие национальные стандарты: измерение сертификация стандарт нанометрология

ГОСТ Р 8.628-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. [7, 8];

ГОСТ Р 8.629-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.[7, 9];

ГОСТ Р 8.630-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки.[7, 10];

ГОСТ Р 8.631-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. .[7,11];

ГОСТ Р 8.635-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки. .[7,12];

ГОСТ Р 8.636-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки. [7, 13];

ГОСТ Р 8.644-2008 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки. [7, 14];

ГОСТ Р 8.696-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра. [7, 15];

ГОСТ Р 8.697-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа. [7, 16];

ГОСТ Р 8.698-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Размерные параметры наночастиц и тонких плёнок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра. [7, 17];

ГОСТ Р 8.700-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.[7, 18].

Разработаны и введены в действие Межгосударственные (СНГ) стандарты:

ГОСТ 8.591-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. [19];

ГОСТ 8.592-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления. [20];

ГОСТ 8.593-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки. [21];

ГОСТ 8.594-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки. [22].

Организации-разработчики стандартов: Государственный научный метрологический центр. Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Российский научный центр .Курчатовский институт., Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН, Московский физико-технический институт (государственный университет).

Следует отметить, что разработанные стандарты взаимодополняют друг друга, что свидетельствует о системном подходе к этой проблеме.

Заключение

Для решения научно-технической проблемы обеспечения единства измерений в нанотехнологиях необходимо осуществить ряд научно-методических, технических и организационных мероприятий. В первую очередь это создание новой структурной схемы передачи размера единиц величин от первичных эталонов рабочим средствам измерений. Она ис-ключает многоступенчатость передачи (рис. 4).

Рис. 4. Метрологическое обеспечение измерений в нанотехнологиях

В этот комплекс мероприятий входят:

· фундаментальные исследования механизмов взаимодействия зондов измерительных систем с объектом измерения;

· разработка новых алгоритмов измерений и соответствующего им математического обеспечения, учитывающего влияние взаимодействия рабочего средства измерений с измеряемым объектом;

· создание новых мер -- материальных носителей размера, обладающих свойствами, аналогичными свойствам вторичного эталона и измеряемого объекта;

· разработка и создание стандартных образцов состава, структуры, размера и свойств;

· создание стандартизованных методик измерений в нанометрии, обеспечивающих прослеживаемость передачи размера единицы величины от эталона рабочим средствам измерений в нанометровый диапазон без существенной потери точности для аттестации, калибровки и поверки средств измерений.

Достичь эту цель вполне реально, так как фундамент решения проблемы основан на концепции базисного эталона (рис. 4), в котором реализована наношкала. Этот эталон -- основа для передачи единиц величин в нанометровый диапазон.[23] Дело за немногим -- необходима гармонизированная система стандартных образцов состава, структуры, размера и свойств, служащих потребностям нанотехнологий. Все это создаёт предпосылки и закладывает основы ускоренного развития высоких технологий в России, и особенно главной из них -- нанотехнологии.

Список литературы

1) Метрология в нанотехнологии. П.А.Тодуа, УДК 621.3.049, стр 61-69

2) Postek M.T. Nanometer -- Scale Metrology // Proceedings of SPIE. 2002. V. 4608. P. 84--96.

3) Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П., Горнев Е.С., Желкобаев Ж., Зыкин Л.М., Ишанов А.Б., Календин В.В., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров А.М., Раков А.В., Саунин С.А., Черняков В.Н. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию. // Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38--44. № 2. С. 24--39. № 3. С. 25--32.

4) The National Technology Roadmap for Semiconductors. 1994. SIA. San Jose. California. USA. 168 p.

5) International Technology Roadmap for Semiconductors. 2004 Update. Metrology. public.itrs.net.

6) Гавриленко В. П., Лесновский Е. Н., Новиков Ю.А., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Первые российские стандарты в нанотехнологиях // Известия РАН, сер.физич. -- 2009. -- Т. 73. -- № 4. -- С. 454-462.

7) ГОСТ Р 8.628-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.

8) ГОСТ Р 8.629-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.

9) ГОСТ Р 8.630-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки.

10) ГОСТ Р 8.631-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки.

11) ГОСТ Р 8.635-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки.

12) ГОСТ Р 8.636-2007 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.

13) ГОСТ Р 8.644-2008 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки.

14) ГОСТ Р 8.696-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра.

15) ГОСТ Р 8.697-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа.

16) ГОСТ Р 8.698-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра.

17) ГОСТ Р 8.700-2010 .Государственная система обеспечения единства измерений. Методика измерений эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.

18) ГОСТ 8.591-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.

19) ГОСТ 8.592-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.

20) ГОСТ 8.593-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки.

21) ГОСТ 8.594-2009 .Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки.

22) Мир материалов и технологий. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях / под ред. Ковальчука М. В. и Тодуа П. А. //М.: Техносфера, 2009.

Размещено на Allbest.ru