Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва

Розробка науково-обґрунтованих методів контролю деформацій, механічних напруг, структурної досконалості і створення на їх основі вимірювального та ростового устаткування та апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів.

Рубрика Производство и технологии
Предмет Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
Вид автореферат
Язык украинский
Прислал(а) Оксанич Анатолій
Дата добавления 24.06.2014
Размер файла 82,3 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.