Одержання і властивості кремнієвих композицій, модифікованих іонно-плазмовими обробками
Механізм формування на ділянках SiО2 плазмохімічних локально модифікованих плівок із використанням продуктів травлення кремнію. Методики створення орієнтованих механічних напружень, визначення кристалографічної анізотропії процесів травлення монокремнію.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | автореферат |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 28.07.2014 |
| Размер файла | 49,7 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Разработан процесс плазмохимического селективного травления плёнок Si3N4 и поликристаллического кремния в среде хладонов 14 и 113. Разработан процесс плазмохимического травления плёнок и сплавов алюминия при изготовлении многоуровневой металлизации с шагом 4 мкм для интегральных микросхем. Проведено исследование модификации поверхности при ионно-плазменных обработках. Показано влияние переосаждения продуктов травления различных материалов на изменение скоростей травления кремния и алюминия в зависимости от выбранных режимов плазменных обработок.
Подобран режим плазменного травления таким образом, что происходит селективное плазмохимическое травление кремния и осаждение продуктов травления в области фоторезиста над SiO2. Последующее плазмохимическое окисление осаждённых продуктов травления приводит к образованию локальной самосовмещенной плёнки плазмохимического SiO2 на термическом окисле кремния. Созданная плёнка состоит из полукристаллитов окисла кремния, которые содержат включения из аморфного и поликристаллического кремния. При обработке металлизации из плёнок алюминия, поликремния и фоторезиста в режиме локального осаждения происходит травление фоторезиста и поликремния над металлом и формирование плёнки локального окисла между шинами металлизации, что позволяет производить планаризацию поверхности пластин при формировании многоуровневой металлизации.
Показано влияние боковой поверхности ямок травления на формирование дефектов, которые вызывают образование токов утечки и последующее забракование полупроводниковых приборов. При помощи растровой электронной микроскопии исследовалось влияние механических напряжений, создаваемых плёнками SiO2 - Si3N4 і SiO2 - Si3N4 - SiO2, на процессы жидкостного и плазмохимического травления кремния. Определено, что скорость травления, скорость диффузии, форма канавок, зависят от типа приложенных механических напряжений - растяжения или сжатия. Напряжения сжатия, формируемые плёнками Si3N4, приводят к замедлению скорости травления монокри-сталлического кремния р-типа проводимости, а напряжения растяжения, формируемые плёнками SiO2 - Si3N4 - SiO2, - к увеличению скорости травления. Травление ориентировано деформированных монокристаллов кремния происходит анизотропно. Анизотропия скорости плазменного травления деформированных монокристаллов кремния зависит от анизотропии пьезорезистивных коэффициентов кремния. Кинетика травления монокри-сталлического кремния зависит от концентрации носителей заряда, а при наличии механических напряжений изгиба изменение их концентрации определяется пьезорезистивными коэффициентами. Диффузия бора происходит с большой скоростью в кремнии n-типа проводимости под маской, которая формирует в кремнии механические напряжения растяжения, по сравнению с маской, которая формирует напряжения сжатия. Для диффузии фосфора в кремнии р-типа проводимости наблюдается обратная зависимость. Так механические напряжения растяжения приводят к замедлению скорости диффузии, а напряжения сжатия к её увеличению. То есть, механические напряжения, которые вызывают уменьшение энергии ионизации диффундирую-щей примеси, приводят к ускорению её диффузии.
Полировка пластин кремния р-типа проводимости происходит с замедлением скорости травления, что соответствует возникновению на полированной поверхности упругих механических напряжений сжатия подобных напряжениям, создаваемых плёнками Si3N4.
Ключевые слова: пучок ионов, изменение зарядов, механические напряжения, поликристаллическая структура, скорость плазменного травления и осаждения.
ABSTRACT
Kravchina V.V. Receiving and properties of the silicon composition, modification under ion-plasma handling. Manuscript.
Thesis for candidate of science degree by speciality 05.27.06 - Technology, equipment and production of electronic engineering. - Herson state technical university, Herson, 2004.
The dissertation is devoted to the influence and modification electrophysical properties and structure of the composition on the Si, films Si*, SiO2, Si3N4 under ion-plasma etching and deposition.
The ion beam modification of charges is considered on the boundaries of the unit of structures formed from the films Si*, SiO2 and available on monocrystalline wafer of the Si. The parameters modification of charges are observed “in the suite” of process of ions beam handling with the help of a measurement conductivity of the test element.
The characterisation of plasma etches process selected so that silicon is etched and plasma products make set on the areas resist polymer over silica. These plasma products are oxidised. There are created local films self aligned with silica. The structure of creating local films is silicon oxide, which inclusive of fragments amorphous and polycrystalline silicon.
The effect of mechanical stresses due to films of SiO2- Si3N4 and SiO2- Si3N4- SiO2 on processes of wet and plasma-chemical etching notches in Si was investigated with the aid of scanning electron microscopy. It is shown that the etch rate and diffusion rate in Si as the shape of Si notches depends on the type of applied mechanical tensile and compressive stress. It is proposed the physical model influence of modification crystal characteristics, there are taking place under effecting elastic mechanical stresses, to explain the determined dependence.
Key words: ion beam, modification of charges, polycrystalline, mechanical stresses, rate of plasma etch and etches products make set.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Процес нанесення тонких плівок в вакуумі. Метод термічного випаровування. Процес одержання плівок. Способи нанесення тонких плівок. Використання методу іонного розпилення. Будова та принцип роботи ВУП-5М. Основні види випарників та їх застосування.
отчет по практике [2,4 M], добавлен 01.07.2015Історія відкриття, властивості і способи синтезу фулеренів. Технологія отримання металл-фулеренових плівок методом конденсації у вакуумі і електрохімічного осадження. Фізичні і електричні властивості метал-фулеренових плівок, сфера їх вживання.
дипломная работа [4,3 M], добавлен 10.10.2014Визначення мети, предмету та методів дослідження. Опис методики обладнання та проведення експериментів. Сплав ZrCrNi як основний об’єкт дослідження. Можливості застосування та вплив водневої обробки на розрядні характеристики і структуру сплаву ZrCrNi.
контрольная работа [48,7 K], добавлен 10.07.2010Вплив мінеральних наповнювачів та олігомерно-полімерних модифікаторів на структурування композиційних матеріалів на основі поліметилфенілсилоксанового лаку. Фізико-механічні, протикорозійні, діелектричні закономірності формування термостійких матеріалів.
автореферат [29,3 K], добавлен 11.04.2009Схема розбивки фрагмента елементарної ділянки різальної частини фрез на восьмикутні елементи. Моделювання процесу контурного фрезерування кінцевими фрезами. Методика розрахунку контактних напружень на ділянках задньої поверхні різального інструменту.
реферат [472,6 K], добавлен 10.08.2010Класифікація тонких плівок. Електрична провідність в острівцевих плівках, моделі провідності. Методика дослідження електропровідності плівок сплавів. Структура та електропровідність надтонких плівок сплаву Co-Ni. Зміна морфології нанокристалічних плівок.
дипломная работа [1,1 M], добавлен 12.12.2011Конструкційна міцність матеріалів і способи її підвищення. Класифікація механічних властивостей, їх визначення при динамічному навантаженні. Вимірювання твердості за Брінеллем, Роквеллом, Віккерсом. Використовування випробувань механічних властивостей.
курсовая работа [2,1 M], добавлен 19.11.2010Спеціальні технологічні методи формування поверхневого шару. Методи вимірювання та оцінки якості поверхні. Безконтактний метод неруйнуючого дослідження мікродеформацій деталі для визначення залишкових напружень методом голографічної інтерферометрії.
контрольная работа [13,0 K], добавлен 08.06.2011Характеристика кисломолочних продуктів, способів їх створення та мікроорганізмів, що застосовують для одержання йогуртів. Ознайомлення з апаратурно-технологічною схемою виробництва йогурту з харчовими волокнами. Розрахунок освітлення лабораторії.
дипломная работа [645,7 K], добавлен 26.01.2022Порівняльний аналіз параметрів двигунів постійного та змінного струму. Розрахунки механічних характеристик, перехідних процесів без урахування пружних механічних зв'язків електроприводу з асинхронним двигуном. Побудова схеми з'єднання додаткових опорів.
курсовая работа [4,0 M], добавлен 09.08.2010Оцінка впливу шорсткості поверхні на міцність пресованих з'єднань деталі. Визначення залежності показників втомленої міцності заготовки від дії залишкових напружень. Деформаційний наклеп металу як ефективний спосіб підвищення зносостійкості матеріалу.
реферат [648,3 K], добавлен 08.06.2011Класифікація та призначення текстильних волокон. Технологія одержання пряжі. Будова, властивості, методи опорядження та створення тканини на ткацькому верстаті. Асортимент швейних виробів, етапи їх виготовлення. Опис обладнання у швейному виробництві.
реферат [914,8 K], добавлен 26.11.2010Принцип та порядок одержання нафтопродуктів, їх різновиди та відмінні характеристики. Експлуатаційні властивості, порядок та особливості використання автомобільних бензинів, дизельного палива, різноманітних моторних масел та мастильних матеріалів.
курс лекций [2,5 M], добавлен 26.01.2010Виробництво, пакування і зберігання варено-копчених ковбас вищого сорту продуктів. Економічні розрахунки технології переробки продукції тваринництва. Визначення виходу продуктів отриманих при забої сільськогосподарських тварин. Визначення витрат сировини.
курсовая работа [542,5 K], добавлен 09.11.2014Методика та етапи розрахунку циліндричних зубчастих передач: вибір та обґрунтування матеріалів, визначення допустимих напружень, проектувальний розрахунок та його перевірка. Вибір матеріалів для виготовлення зубчастих коліс і розрахунок напружень.
контрольная работа [357,1 K], добавлен 27.03.2011Методика зрівноваження обертових мас при проектуванні асинхронного двигуна. Статистичне та динамічне балансування. Розрахунок напружень та оптимальної товщини стінки труби при дії механічних та теплових навантажень. Розрахунок механізму на точність.
курсовая работа [1006,6 K], добавлен 29.05.2013Визначення параметрів шуму - хаотичного поєднання різних по силі і частоті звуків, які заважають сприйняттю корисних сигналів. Особливості вібрації - механічних коливань твердих тіл. Дослідження методів вимірювання рівня шуму шумомірами, осцилографами.
реферат [15,4 K], добавлен 13.02.2010Розгляд хіміко-технологічних процесів і технології хімічних продуктів. Ефективність хіміко-технологічного процесу, яка залежить від раціонального вибору послідовності технологічних операцій. Сукупність усіх апаратів для виробництва хімічних продуктів.
реферат [29,2 K], добавлен 15.11.2010Перeваги кремнію – основного матеріалу напівпровідникової техніки. Вирощування монокристалів із розплаву. Методи вирощування Стокбаргера і Бріджмена на основі переміщення тигля в температурному градієнті. Очищення методом зонної плавки, її варіанти.
курсовая работа [3,2 M], добавлен 09.04.2011Кристало-хімічні особливості та фазові перетворення напівпровідникового кремнію. Механізми мартенситного перетворення. Особливості розчинності домішок. Взаємозв'язок між енергією зв'язку і зарядовою щільністю для міжатомної відстані кристалічній решітці.
дипломная работа [1,7 M], добавлен 25.03.2014
