Спиральный безмасляный насос ISP-90

Размещено на http://www.allbest.ru/

Содержание

Введение

1. Формирование исходных данных для расчета

1.1 Описание установки

1.2 Спиральный безмасляный насос ISP-90

1.3 Крионасос CVP 25

14 Разработка ваккумной системы

1.5 Исходные данные

2. Расчеты

Заключение

Список литературы



Введение

Расчет процессов откачки различных вакуумных установок является комплексной задачей. Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры. Удобно рассмотреть все эти расчеты на конкретном примере.



1. Формирование исходных данных для расчета

1.1 Описание установки

Вакуумная установка является достаточно универсальным устройством для нанесения тонкопленочных покрытий различного функционального назначения, в частности твердых нанокомпозитных.

Установка включает следующие функциональные блоки:

· Рабочая камера

· Система безмасляной вакуумной откачки

· Система охлаждения

· Система газораспределения

· Система измерения давления

· Система позиционирования образцов

· Система нагрева и контроля температуры образцов

· Технологические источники (несбалансированные магнетроны, ионные источники)

· Источники питания (магнетронов, ионных источников, нагрева, смещения подложки)

· Пульт управления с персональным компьютером

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали в виде цилиндра с боковым проемом, закрываемым дверью и водоохлаждаемыми стенками.

Таблица 1. Технические параметры рабочей камеры

Параметр	Значение
Размеры рабочей камеры, мм диаметр высота	800 800
Материал	12Х18Н10Т
Остаточное давление в камере, Па	не более 10-5
Максимальный размер образцов, мм	Ш 200 х 400
Количество образцов, шт.	4 - 12
Фланцы: ISO 250 ISO 160 KF 50 KF 40 KF 25	3 шт. 3шт. 3 шт. 1 шт. 3 шт.



Система безмасляной вакуумной откачки включает: форвакуумный спиральный насос с предельным давлением не более 5 Па; криогенный насос с сорбционной емкостью 2000 литров по аргону при 10^-6мм.рт.ст., вакуумный затвор, систему клапанов, систему вакуумных трубопроводов и сильфонов

Система замкнутого охлаждения обеспечивает охлаждение технологических источников и вакуумной камеры и включает 4 канала. В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением.

В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере.

В вакуумной камере расположена система позиционирования образцов. Количество устанавливаемых на манипулятор образцов размером Ш 200 х 400 мм - 4 шт. Манипулятор имеет 12 гнезд для установки образцов размером Ш 80 х 400 мм. Система перемещения позволяет изменять скорость и направление вращения подложки, а также сканирование (перемещение вперед-назад) возле заданного технологического устройства с высокой точностью. В состав системы позиционирования входят: манипулятор, электромеханический привод, магнитная муфта ввода вращения, блок управления

В вакуумной камере установлена система нагрева и контроля температуры. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 ⁰С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 ⁰С.

Установка оснащена двумя несбалансированными магнетронными распылительными системами и двумя ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов.

Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера в автоматическом или ручном режиме

1.2 Спиральный безмасляный насос ISP-90

Вакуумные насосы Anest Iwata модели ISP-90 используются сегодня во многих областях:

· системы напыления,

· системы для нанесения оптических покрытий,

· гелиевые течеискатели,

· ионная обработка,

· электронно-лучевые процессы,

· вакуумные печи,

· лабораторное оборудование,

· ускорители.

Преимущества

* полное отсутствие какого-либо потока масла в вакуумную систему;

* отсутствие генерации частиц износа;

* низкий уровень пульсаций и шума, практически отсутствует вибрация;

* хорошо сбалансированный рабочий механизм, который требует минимального пускового момента и выделяет минимум тепла при работе;

* малый вес, компактность и воздушное охлаждение насосов позволяют использовать их во многих приложениях, включая те, которые не могут быть реализованы с помощью традиционных насосов;

* высокая надежность, достигаемая за счет внедрения новых инженерных достижений (к последним внедрениям можно отнести улучшенную систему Air Flush удаления влаги и частиц из внутренней полости насоса, значительно увеличивающую ресурс подшипников, и технологии уплотнения вала и подшипников);

* стабильная производительность в широком диапазоне рабочих давлений.

* интервал сервисного обслуживания до 16'000 часов (в сравнении с 8'000 часами у других производителей).

Таблица 2.

Спиральный безмасляный насос	ISP-90
Скорость откачки, л/мин: при 50 Гц	90
Предельный вакуум, Па (Торр)	5 (0,038)
Потребляемая мощность, КВт	0,15
Уровень шума, дБ	52
Напряжение эл. питания, В	220
Вес, кг	13
Размер, ДхШхВ, мм	308 х 182 х 225
Входной присоединительный фланец	ISO NW 25

1.3 Крионасос CVP 25

Насос CVP 25 - сертифицированный (CE и SEMI) высокопроизводительный крионасос, предназначенный для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а так же для различных исследований в высоком вакууме. Насос предлагается в двух различных исполнениях - стандартном и с быстрой регенерацией («Q»), а так же может быть снабжен фланцем по спецификации заказчика. Насос с опцией «Q» оснащен датчиком Пирани, продувочным клапаном, клапаном предварительной откачки и предохранительным клапаном, двухступенчатыми нагревателями и датчиками температуры.

вакуумный насос газовыделение откачка

Таблица 3. Технические характеристики CVP 25

Характеристики	CVP 25
Вес, кг		30
ДУ, мм		250
Габаритные размеры, мм	Длина х Диаметр х Высота	402 х 350 х 615
Скорость откачки, л/с	Азот Водород Аргон Пары воды	2,500 7,000 2,000 6.000
Номинальное давление, Торр		<10-9
Максимальный газовый поток для аргона, Торр*л/с		16
Ёмкость, нл	Аргон Водород	2.500 30
Параметр включения, Торр*л		400
Время охлаждения, мин		60
Стандартное время регенерации (включая 30 мин продувки для полной регенерации), мин	Полная регенерация Быстрая регенерация

1.4 Разработка вакуумной системы

Разработка данного чертежа необходима для описания процесса откачки. Для приведенной схемы подключения можно иметь следующий технологический процесс откачки.

1. Включить электрическое питание на установку.

2. Открыть пневматическую магистраль.

3. Включить механический насос 1.

4. Включить вакууметр термопарный (преобразователей 6, 9).

5. Открыть клапан 2 и произвести откачку криагенного насоса до 5*10^-2 торр.

6. Включить компрессор криагенного насоса 4.

7. Закрыть клапан 2, открыть клапан 7 и произвести откачку камеры 8 до давления 5*10^-2 торр.

8. Открыть высоковакуумный клапан 5 и произвести откачку 1*10^-6 торр.



Рис. 1 Высоковакуумная система откачки. 1-механический насос, 2, 3, 7, 11 - электромагнитные вакуумные клапаны, 4 - турбомолекулярный насос, 5 - высоковакуумный клапан, 6, 9 -манометрические преобразователи Пирани, 10 - ионизационный преобразователь.

Исходя из разработанного процесса мы должны обратить внимание на два параметра: предварительный вакуум в камере 5*10^-2 торр и придельное остаточное давление 1*10^-6 торр. Данные параметры выбираются если на рассматриваемую установку производитель не объявляет свои параметры. Тогда придельный вакуум может быть скорректирован.

1.5 Исходные данные

Из выявленных выше разделов можно формировать исходные данные.

Скорость откачки механического насоса - 90 л/мин =1,5 л/c

Скорость откачки крионасосом - 2500 л/с.

Длина магистрали механический насос-камера -77,5 см.

Диаметр трубопровода механический насос-камера - 2,5 см.

Длина трубопровода криогенный насос - камера по оси магистрали - 12+10+12=34 см. (расчет по средней линии)

Диаметр трубопровод крионасоса - камера -25 см.

Трубопровод крионасоса - камера имеет угол 0⁰.

Объем камеры - 36 л.

Площадь поверхности камеры - 6600 см².

Материал камеры - нержевеющая сталь.

Величина предварительного разряжения в камере - 5·10^-2 торр.

Предельный вакуум в камере 1·10^-6 торр



2. Расчет

Найдем диапазоны давлений в трубопроводе механический насос-камера в котором осуществляется вязкостный режим течения газа.

Критерий вязкостного режима течения газа в магистрали механического насоса d=25 мм, d/L>100, L=L₁/p.

L₁ - cредняя длина свободного пробега молекулы воздуха при давлении 1 Торр в воздухе при температуре 20 ⁰С. L₁=0,472 мм

p_{вяз min}=100·L₁/d=47.2/25=1.888 Торр

От 760 до 1,9 торр режим откачки вязкостный.

Найдем диапазоны давлений в трубопроводе механический насос-камера в котором осуществляется молекулярно-вязкостный режим течения газа.

Критерий молекулярно-вязкостного режима течения газа в магистрали механического насоса от d/L=1 до d/L>100, L=L₁/p, d=25 мм:

p_{мол-вяз min}=1·L₁/d=0,472/25=1.888·10^-2 Торр

От 1,9·10^-2 до 1,9 Торр режим откачки молекулярно-вязкостный.

Проводимость трубопровода в вязкостном режиме течения газа:

,

где р₀=(р₁+р₂)/2 среднее давление между давлением в камере и на входе механического насоса, d-диаметр, L-длина трубопровода (л/с, Торр, см⁴, см).

Проводимость трубопровода в молекулярно-вязкостном режиме течения газа (л/с, Торр, см⁴, см):



,

если трубопровод имеет повороты, то поправка на длину трубопровода ДL суммируется к общей длине.

Длительность откачки вакуумной камеры механическим насосом.

Теория.

Обозначим объем откачиваемого объекта через V, давление в нем в данный момент времени -- через p₁ и быстроту откачки объекта -- через S₀. Будем предполагать, что ни натекания, ни внутреннего газовыделения в вакуумной системе нет.

Положим, что за промежуток времени dt давление в откачиваемом объекте снижается на dp₁ Тогда количество газа, поступающее в трубку за промежуток времени dt, равно S₀ p₁dt, а убыль газа в объекте за этот промежуток времени равна Vdp₁.

Эти количества газа, очевидно, равны по абсолютной величине, но противоположны по знаку, следовательно,

.

Отсюда

.



Так как

.

То

При вычислении длительности откачки, достаточной для снижения давления в откачиваемом объекте до заданного значения, приходится пользоваться различными вариантами формулы (1) в зависимости от соотношения между быстротой действия насоса S_Н и пропускной способностью вакуумпровода U.

Вакуумпровод с большой пропускной способностью

В случае короткого вакуумпровода с большим диаметром слагаемым 1/U можно пренебречь и уравнение (1) написать в виде:

В нашем уравнении среднее значение быстроты действия насоса, которое мы обозначим через S_Н, известно; требуется же определить промежуток времени (обозначим его через t), за который давление в откачиваемом объекте снизится с р₁ до р₂.

Следовательно, в этом случае решение можно написать в виде:



Вакуумпровод с малой пропускной способностью

При условии, когда трубопровод имеет относительно малую пропускную способность, в уравнении (1) можно отбросить величину 1/S_H и представить его в виде:

Интегрирование этого уравнения приведем в общем виде:

Формулой (2) можно пользоваться для вычисления длительности откачки электровакуумных приборов, для которых, как мы знаем, условие (U<<S_H) всегда соблюдается.

Длительность откачки при молекулярном режиме

При молекулярном режиме пропускная способность U_M вакуумпровода не зависит от давления; поэтому величину U= U_M можно вынести за знак интеграла. Следовательно,



Если давление р_К < 10 р₀, т. е. близко к предельному давлению p₀, достигаемому насосом, то необходимо, как мы уже знаем, вместо р_К брать разность р_К - р₀. Мы видим, что если U = S_Н, то длительность откачки при молекулярном режиме обратно пропорциональна пропускной способности вакуумпровода.

Длительность откачки при молекулярно-вязкостном режиме

При молекулярно-вязкостном режиме пропускная способность вакуумпровода зависит от среднего давления в нем, поэтому за знак интеграла величину U формуле (3) выносить нельзя. Среднее давление в вакуумпроводе (p₁+p₂)/2 можно считать равным p₁/2, давление р₂ (у входа в насос), ввиду того что S_H > U, можно считать равным нулю. После этого, обозначив величину U для молекулярно-вязкостного режима через U_М-B, можем написать:

Подставим это выражение в формулу (2), введя обозначения

и приняв b = 0,9; после подстановки

Для воздуха при 20 ⁰С, если давления выразить в миллиметрах рт. ст., величина а = 7,8 10²d. Поправку на предельное давление следует делать, если р_К < 10 р₀.

Длительность откачки при вязкостном режиме

Так как пропускная способность при вязкостном режиме зависит от среднего давления, то величину U за знак интеграла в формуле (2) выносить нельзя. Среднее давление в вакуумпроводе (p₁+p₂)/2 можно считать равным p₁/2 и обозначив U через U_B, мы можем формулу для пропускной способности трубопровода при вязкостном режиме записать в виде:

где

На основании формулы (2) можем написать выражение для длительности откачки при вязкостном режиме:

Исходя из описанной теории оценим диапозон изменения проводимости вакуумпровода.

Рассчитаем минимальную проводимоусть вакумопровода в молекулярно-вязкостном режиме (л/с, Торр, см⁴, см):

р₀ = 5·10^-2 Торр

,



Рассчитаем максимальную проводимость вакуумпровода в вязкостном режиме (л/с, Торр, см⁴, см):

р₀ = 760 Торр

.

Проводимость магистрали механический насос-вакуумная камера меняется от 133456 до 8,83л/с, что гораздо выше S_H=4 м³/ч=1,1л/с

Для расчета времени откачки вакуумной камеры механическим насосом воспользуемся уравнением

Рис. 2. Временная зависимость давления в вакуумной камере при откачки механичеким насосом

При решении мы пренебрегали процессом натекания воздуха в камеру за счет десорбции газов с поверхности необезгаженных вакуумных материалов при процессах дегазации, диффузионным газовыделение конструкционных материалов при комнатной температуре и дегазации паров воды.

В табл. 4 приведены значения удельных rазовыделений при десорбции с поверхности распространенных материалов через 1 ч после начала десорбции и коэффициентов А₁ и В₁ В выражении

где t - время сек, а q в л Торр см^-2 с^-1.

Таблица 4. Десорбция с поверхности необезгаженных вакуумных материалов

Материал	Удельное газовыделение через 1 ч, л*торр см-2 с-1	А1	В1
Малоуглеродистая сталь	3,1 10-7	-6,4	3,06*10-5
Нержавеющая сталь	1,3 10-7	-7,13	6,39 *10-5
Медь	1,5 10-7	-6,78	1,39*10-5
Сварной шов на медной трубе	2,1 10-7	-4,53	4,7*10-5
Дюралюминий	4,2 10-7	-6,25	3,33*10-5



Рис. 3 Временная зависимость газовыделения с поверхности камеры.

В табл. 5 приведены значения удельного диффузионного газовыделения с поверхности распространенных материалов через 1 ч после начала десорбции и коэффициентов А₁ и В₁ В выражении

где t - время сек, а q_ДИФ в м³Па/(м²с).



Таблица 5. Удельное диффузионное газовыделение конструкционных материалов при комнатной температуре

Материалы	Обработка	Удельное rазовыделеиие через час после откачки, qcр,м3.Па/(м2с)	коэффициеиты
			А	В
Сталь нержавеющая	Без обработки	4 10-5	-4,1	8,32*10-5
Сталь нержавеющая	Вакуум, 4500С, 15 ч	10-8…10-10
Сталь конструкционная	Без обработки	4 10-4	-3,2	4,2 *10-5
Сталь конструкционная	Хромирование	1,3 10-7
Сталь конструкционная	Вакуум, 4500 С, 15 ч	10-8…10-10
Медь	Без обработки	2 10-4	-3,5	4,0* 10-5
Медь	Вакуум, 4500 С, 15 ч	10-8…10-10
Латунь	Без обработки	2 10-4	-3,4	3,1 10-5
Алюминий	Без обработки	6 10-6
Никель	Без обработки	7 10-6
Резина вакуумная	Без обработки	10-2
Полиэтилен	Без обработки	10-4
Фторопласт	Без обработки	3 10-4

Примечание: 1) м³Па/(м²с)=7,5 10^-4 л Торр/(см² с);

Диффузионное газовыделение имеет нестационарную природу, но для большинства газов и материалов постоянная времени этих процессов настолько велика, что они могут рассматриваться как стационарные. Упрощенный метод определения диффузионного газовыделения основан на применении экспериментально определенных значений коэффициентов удельного диффузионноrо газовыделения (таблица 2), зависящих от рода газа, материала и eгo предварительной обработки, а также



Рис. 4 Временная зависимость диффузионного газовыделения из материала камеры.

Для расчета времени откачки вакуумной системы, содержащей двухкомпонентную смесь cyxoгo воздуха и паров воды, запишем два уравнения изотермического процесса откачки:

где р₁ - давление воздуха без учета давления паров воды, Па; р₂ - давление паров воды в воздухе, Па; а - количество паров воды, адсорбированное на единице геометрической поверхности камеры, м³, Па/м²; S_К - геометрическая площадь поверхности камеры, м²; V_К - объем камеры, м³.

Продифференцировав уравнения системы и разделив на dt, считая, что адсорбционное равновесие устанавливается мгновенно, получим



где S₀ - эффективная быстрота откачки насоса, м³ /с.

Подставляя в уравнение выражение для а, в соответствии с уравнением Фрейндлиха

где К = 0,0185 и n=2,9 константы, зависящие от природы адсорбента, адсорбируемоrо газа и температуры поверхности вакуумной камеры; р₂ - давление паров воды в камере, Па.

После интегрирования при условии So=const получим

где р_2Н и р_2К - начальное и конечное давления паров воды при откачке. Пользуясь уравнением, можно найти время откачки t, необходимое для снижения давления паров воды в камере от начального давления р_2Н до конечноrо р_2К.

После интегрирования уравнения при S₀=сonst получим, аналогично



где р_1Н и р_1К начальное и конечное давления воздуха без учета давления паров воды, уравнения позволяют по известному времени откачки t определить конечное давление двухкомпонентной смеси, равное сумме давлений cyxoгo воздуха и паров воды. Согласно проведенным исследованиям, время откачки влажного и cyxoгo воздуха при давлениях 10⁵ - 10⁰ Па практически совпадает, заметное влияние адсорбированных паров воды на время откачки вакуумных систем после напуска атмосферного воздуха проявляется при давлении ниже 10 Па, а при давлении меньше 10^-3 Па время откачки двухкомпонентной смеси полностью определяется десорбционным газовыделением паров воды с внутренних стенок вакуумной камеры.

Пренебрегая наличием паров воды в составе остаточных газов, можно допустить большую ошибку при определении времени откачки.

Проанализируем это выражение для случая механического насоса:

- объем камеры 36 л = 0,036 м³,

- площадь поверхности камеры 6600 см²=0,66 м²,

- начальное давление пара (p_Н) при 30% влажности при температуре 20⁰С и давлении 1ат. (давление насыщенного пара при 20⁰С 17,54 торр) равно 17,54·133·30/100 = 699,8 Па,

- S₀ ? S_Н = 1,1 л/с = 1,1·10^-3 м³/с, p_К = 5·10^-2 торр = 5·10^-2·133 = 6,65 Па



Рис. 5 Зависимость давления паров воды в камере от времени откачки механическим насосом

Сравнивая рис. 1 и 4 мы можем видеть, что время откачки паров воды более чем в 2 раза меньше, чем время откачки воздушной атмосферы. Следовательно, существенного влияния на процесс откачки механическим насосом десорбция паров воды оказывать не будет и этот процесс можно не учитывать.

Газовыделение адсорбированного газа с поверхности камеры и диффузионное газовыделение из материала камеры также не вносит существенного значения.

,

что гораздо больше Q_ДИФmax = 3,93·10^-4 л торр/(см² с) и Q_ДЕСmax=4,89·10^-4 л торр/(см² с)

Таким образом, согласно графику рис. 6 механический насос откачает камеру за 315 с = 5 мин. 15 с.

Рассчитаем проводимость вакумпровода высоковакуумный насос - камера. Так как режим течения газа молекулярный то воспользуемся выражением для круглого трубопровода и учтем удлинение тубопровода за счет поворота магистрали на 90⁰.

Поправка на длину при повороте трубопровода

,

Проводимость трубопровода с молекулярным течением газа (магистраль турбомолекулярного насоса):

,

где d-диаметр, L-длина трубопровода (л/с, см³, см),

Высоковакуумный затвор уменьшает проводимость в 0,9-0,8 раз

U_TM=155,5*0,9=139,95 л/с

Рассчитаем время откачки турбомолекулярным насосом без учета натекания.

Рассчитаем скорость откачки вакуумной камеры с учетом проводимость вакуумпровода.

Основное уравнение вакуумной техники:

где Sн - скорость откачки насоса; S₀ - скорость откачки вакуумной камеры; U - суммарная проводимость трубопровода

Для турбомолекулярного насоса найдем скорость откачки вакуумной камеры



Зависимость давления в вакуумной камере без учета натекания в случае откачки турбомолекулярным вакуумным насосом:

,

где p_o - начальное давление в вакуумной камере 5*10^-2 Торр; p(t) - рабочее давление в вакуумной камере, торр; V - объем вакуумной камеры, л; t - время откачки, с; S₀ - скорость откачки вакуумной камеры, л; объем вакуумной камеры, л.

Предельное давление 10^-6 Торр



Рис.6 Временная зависимость давления в вакуумной камере без учета натекания

Видим, что время откачки очень маленькое порядка 6 сек, что не достижимо на практики.

Учтем газовыделение адсорбированного газа с поверхности камеры и диффузионное газовыделение из материала камеры

Давление в камере с учетом натекания меняется со временем откачки:

где Q(t) - зависимость натекания в вакуумной камере от времени (газовыделение). В выражении надо учесть, что откачка начинается через 315 сек после откачки механическим насосом (в этот промежуток времени газовыделение происходило). Тогда



Рис. 7 Временная зависимость давления в вакуумной камере с учетом натекания

Сделаем расчет для учета влияния паров воды на скорость откачки. Воспользуемся выражением

Проанализируем это выражение:

- объем камеры 36 л = 0,036 м³,

- площадь поверхности камеры 6600 см²=0,66 м²,

- начальное давление пара при 30% влажности при температуре 20⁰С и давлении 1ат. (давление насыщенного пара при 20⁰С 17,54 торр) равно 17,54·133·30/100=699,8 Па,

- S₀ = 62,5 л/с=0,0625 м³/с,

Учтем процесс откачки механическим насосом. Максимальное начальное давление паров воды при этом будет составлять 5·10^-2торр = 6,65 Па = р_2H

Рис.8 Временная зависимость давления в вакуумной камере адсорбированных водяных паров

Анализ показал, что учет откачки паров воды не целесообразен.

Зависимость давления в вакуумной камере при полном цикле откачки. Соединим рис. 1 и 6.



Рис.9 Временная зависимость давления в вакуумной камере.

Из графика, представленного на рис. 7, мы видим, что время достижения предельного вакуума ? 4 часа 25 мин. Это слишком много для вакуумной системы, к тому же мы не учитывали газовыделение с технологических модулей в камере. Стоит попросить производителей поставить в камеру более производительные вакуумные насосы.



Заключение

Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры. Удобно рассмотреть все эти расчеты на конкретном примере.



Список литературы

1. А.И. Пипко, В..Я. Плисковский и др. Основы вакуумной техники М: Энергоиздат 1981. 321 с.

2. Л.Н.Розанов Вакуумная техника М:Высшая школа1990.259с.

3. Дж. Уэтсон Техника сверхвысокого вакуума Мир 1988. 315с.

4. А.Рот Вакуумные уплотнения Энергия 1971. 165 с.

5. Б.И. Королев, В.И.Кузнецов и др. Основы вакуумной техники М: Энергия 1975. 309 с.

Размещено на Allbest.ru

...