Техника получения и измерения вакуума и напыления материалов
Схема и принципы установки вакуумного напыления. Расчет скорости откачки для насосов и интервала времени откачки до конечного давления. Получение зависимости изменения давления от времени в процессе предварительной и вакуумной откачки для насосов.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | лабораторная работа |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 23.01.2021 |
| Размер файла | 852,7 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Размещено на http://www.allbest.ru/
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ
ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧЕРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ
«САМАРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ АКАДЕМИКА С.П. КОРОЛЕВА»
ОТЧЁТ
по лабораторной работе
Техника получения и измерения вакуума и напыления материалов
вакуумный напыление насос откачка
Самара, 2019
Цель работы: изучение техники получения и измерения вакуума, напыления различных материалов; приобретение практических навыков в обращении с вакуумной установкой типа УВН и с основными приборами измерения вакуума.
Задания:
1. Изучить принцип работы вакуумной установки и методы измерения низкого и высокого вакуума.
2. Рассчитать и построить зависимость изменения давления от времени в процессе предварительной и вакуумной откачки для заданных типов насосов.
Рисунок 1 - Схема вакуумной установки УВН: рабочую камеру 1, вентиль-натекатель 2, натекатель 3, базовую плиту 4, затвор 5, клапан 6, вентиль-натекатель 7, клапан 8, клапанную коробку 9, азотную ловушку 10, паромасляный диффузионный насос 11, механический вращательный насос 12, сосуд Дьюара 13 с азотным питателем 14.
Задача: рассчитать скорость откачки для насосов 2НВР-90Д и НВДМ-400.
Начальное давление: атмосферное 105 Па (1000 мбар)
Конечное давление: 10-5Па (10-7мбар)
Объём камеры: 0,12 м3
Время откачки:
t = V*F*ln(pa/pе)/S
где: t - время откачки, часы
V - объем откачиваемой емкости (герметичной), м3
S - производительность насоса, м3/ч
C- уровень начального вакуума, мбар
pе - уровень необходимого вакуума в емкости, мбар
F - коэффициент кривой откачки
pе = от 1000 до 250 мбар F=1
pе = от 250 до 100 мбар F=1,5
Pе = от 100 до 50 мбар F=1,75
pе = от 50 до 20 мбар F=2
pе = от 20 до 5 мбар F=2,5
pе = от 5 до 1 мбар F=3
По формуле (1) были рассчитаны интервалы времени откачки до конечного давления:
С 1000 мбар до 250 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 6.65 с;
С 250 мбар до 100 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 6.59 с;
Со 100 мбар до 50 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 5.82 с;
С 50 мбар до 20 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 8.79 с;
С 20 мбар до 5 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 16.64 с;
С 5 мбар до 1 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 23.18 с;
С 1 мбар до 0,067 мбар насос 2НВР-90Д откачал за 72 с;
С 0,067 мбар до 0,0000001 мбар насос НВДМ-400.откачал за 1.44 с.
Время откачки ? 2,4 часа
С помощью данных интервалов была получена зависимость изменения давления от времени в процессе предварительной и вакуумной откачки:
Рисунок 2 - зависимость изменения давления от времени в процессе предварительной и вакуумной откачки для заданных насосов
Таблица 1. Характеристики вакуумного насоса 2НВР-90Д
Таблица 2. Характеристики высоковакуумного диффузионного паромасляного насоса НВДМ-400
Выводы
1. В ходе данной лабораторной работы был изучен принцип вакуумной установки и методы измерения низкого и высокого вакуума.
2. Была рассчитана и построена зависимость изменения давления от времени в процессе предварительной и вакуумной откачки для насосов НВР-16Д и НВМД-160.
3. Также в ходе лабораторной работы с помощью микроскопа были изучены образцы готовых подложек с нанесёнными проводящим и резистивным материалами.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Выбор и описание схемы вакуумной системы. Выбор насосов и определение конструктивных параметров трубопроводов. Расчет времени предварительного разряжения и откачки пушки до рабочего вакуума. Графическая проверка совместимости работы вакуумных насосов.
курсовая работа [161,7 K], добавлен 18.01.2015Проектирование и расчет вакуумной системы для отжига деталей в условиях вакуума среднего давления. Расчет стационарного газового потока. Определение конструктивных размеров трубопроводов и выбор элементов вакуумной системы. Расчет времени откачки.
контрольная работа [690,1 K], добавлен 24.08.2012Стремление избавиться от вакуумных масел и других рабочих жидкостей как основная особенность развития средств вакуумной откачки на протяжении последних лет. Форвакуумные и высоковакуумные средства откачки, их сравнительная характеристика и применение.
отчет по практике [1,2 M], добавлен 11.03.2015История возникновения и развития технологии напыления, ее современные методы, преимущества, недостатки. Классификация процессов газотермического напыления покрытий. Основные виды установок напыления. Схема универсальной установки газопламенного напыления.
курсовая работа [309,1 K], добавлен 17.10.2013Выбор вакуумной схемы установки. Средства контроля и измерения вакуума и определение их мест размещения на схеме. Расчет стационарного режима работы. Определение конструктивных размеров соединительных трубопроводов и выбор элементов вакуумной системы.
курсовая работа [1,2 M], добавлен 02.02.2016Выбор высоковакуумного и механического насосов. Выбор манометров и их расстановка на вакуумной арматуре и вакуумной камере. Расчет натеканий в вакуумной системе в различных режимах течения газов. Принцип работы течеискателя и технологии течеискания.
курсовая работа [2,3 M], добавлен 14.12.2012Обзор современного оборудования для получения тонких пленок. Материалы и конструкции магнетронов для ионного распыления тонких пленок. Назначение, конструктивные элементы рабочей камеры установки "Оратория-5". Основные неисправности, методы их устранения.
курсовая работа [1,8 M], добавлен 24.03.2013Основные параметры и классификация насосов. Основные причины, ограничивающие использование грунтовых вод. Схема проверки производительности скважины с учетом максимальной откачки (пиковой нагрузки). Защита при эксплуатации погружных электронасосов.
курсовая работа [420,7 K], добавлен 07.12.2016Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок. Экономическое обоснование проекта.
дипломная работа [4,2 M], добавлен 01.03.2008Развитие вакуумной техники. Упрощенная схема вакуумной системы. Объемные вакуумные насосы (поршневые, кольцевые, ротационные). Давление запуска насоса, наименьшее и наибольшее рабочее давление. Насосы, основанные на принципе ионно-сорбционной откачки.
реферат [953,3 K], добавлен 25.11.2010Особенности и принципы работы гидравлических реле давления и времени. Характеристика основных способов разгрузки насосов от давления. Суть дроссельного регулирования. Гидравлические линии. Эксплуатация объемных гидроприводов в условиях низких температур.
контрольная работа [190,2 K], добавлен 10.02.2015Описание и работа 52-позиционного автомата откачки люминесцентных ламп. Монтаж, эксплуатация и техническое обслуживание машины. Подача ртутной таблетки. Перечень регламентных работ на откачной машине на линиях Federal. Наладка узла отпая штенгеля.
курсовая работа [50,1 K], добавлен 11.11.2011Разработка программы бурения скважины; выбор плотности и предварительной подачи насосов. Расчет гидравлических параметров промывки для начала и конца бурения, потери давления. Гидродинамические расчеты спуска колонны труб в скважину; допустимая скорость.
курсовая работа [979,5 K], добавлен 03.11.2012Кривая намагничивания, температура Кюри, коэрцитивная сила. Характеристики магнитных материалов. Подготовка к напылению. Термообработка тонких пленок в вакууме. Термообработка по патенту. Расчет защит, заземления для установки вакуумного напыления.
курсовая работа [2,2 M], добавлен 22.06.2015Принцип работы бытовых и хозяйственных тепловых насосов. Конструкция и принципы работы парокомпрессионных насосов. Методика расчета теплообменных аппаратов абсорбционных холодильных машин. Расчет тепловых насосов в схеме сушильно-холодильной установки.
диссертация [3,0 M], добавлен 28.07.2015Понятие давления как физической величины. Типы, особенности устройства датчиков давления: упругие, электрические преобразователи, датчики дифференциального давления, датчики давления вакуума. Датчики давления, основанные на принципе магнетосопротивления.
реферат [911,5 K], добавлен 04.10.2015Основные методы термического напыления: обычный резистивный нагрев испарителя, лазерный и электроннолучевой. Элементы системы вакуумного резистивного напыления. Решение проблемы нарушения стехиометрии тонкопленочного покрытия при резистивном испарении.
статья [98,7 K], добавлен 31.08.2013Явление коррозии медицинских инструментов, его физическое обоснование и предпосылки, факторы риска и методы профилактики. Технология плазменного напыления: сущность и требования, характеристика наносимых покрытий. Оборудование для плазменного напыления.
курсовая работа [44,3 K], добавлен 05.11.2014Расчет подогревателя высокого давления №7 (ПВ-2100-380-40) для турбинной установки К-800-240-4. Краткая характеристика турбоустановки. Схема движения теплообменивающихся сред, график изменения температур в теплоносителе. Определение количества теплоты.
курсовая работа [208,8 K], добавлен 28.06.2011Назначение нефтеперекачивающей станции. Система механического регулирования давления. Функциональная схема автоматизации процесса перекачки нефти. Современное состояние проблемы измерения давления. Подключение по электрической принципиальной схеме.
курсовая работа [2,8 M], добавлен 15.06.2014
