Технология литографических процессов

Анализ ограничений разрешающей способности фотолитографии. Сущность и этапы литографии: формирование слоя фоторезиста; создание рельефной структуры; перенос рельефа фоторезиста на технологический слой подложки. Развитие теневых методов литографии.

Рубрика Производство и технологии
Предмет Технология литографии
Вид учебное пособие
Язык украинский
Прислал(а) Лапшинов Б.А.
Дата добавления 25.11.2023
Размер файла 13,4 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.

    реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009

  • Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.

    курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010

  • Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.

    презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013

  • Геометрические параметры и физико-механическое состояние поверхностного слоя деталей. Граничный и поверхностный слой. Влияние механической обработки, состояния поверхностного слоя заготовки и шероховатости на эксплуатационные свойства деталей машин.

    презентация [1,9 M], добавлен 26.10.2013

  • Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.

    контрольная работа [304,0 K], добавлен 03.10.2009

  • Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.

    реферат [1,0 M], добавлен 06.05.2014

  • Классификация методов переработки пластиковой тары. Принцип создания кипящего слоя. Печь псевдоожиженного слоя, ее схема. Компоновка производственной линии сортировки отходов. Изменение сопротивления слоя сыпучих материалов от скорости сушильного агента.

    курсовая работа [2,4 M], добавлен 08.04.2015

  • Патентно-информационное исследование и разработка структуры пневмопривода. Использование промышленного робота МП-9С для автоматизации технологических процессов, где необходимо осуществить захват, перенос и установку детали по координатам рабочей зоны.

    курсовая работа [3,1 M], добавлен 23.07.2012

  • Химико-технологические процессы, в которых основную роль играет перенос вещества из одной фазы в другую (массообменные). Разность химических потенциалов как движущая сила массообменных процессов. Использование массообменных процессов в промышленности.

    презентация [241,5 K], добавлен 10.08.2013

  • Определение и виды технологий; классификация отраслей промышленности. Категории и понятия экономики, специфические черты системы экономики. Особенности и характеристики методов управления разновидностями процессов в разных отраслях промышленности.

    реферат [16,4 K], добавлен 06.05.2010

  • Сущность производственного процесса. Структура и технологический порядок осуществления операций. Соблюдение принципов организации производства как основополагающее условие его эффективности. Целесообразность единичного и серийного его типов в экономике.

    презентация [98,2 K], добавлен 24.03.2014

  • Изучение видов и технологических особенностей переплавных процессов. Сравнительный анализ методов получения специальных сталей. Выявление их преимуществ и недостатков. Выбор оптимального метода переплава. Сопоставление показателей переплавных процессов.

    реферат [37,4 K], добавлен 12.10.2016

  • Назначение электронного узла и условия его работы. Анализ технологичности: отраслевые стандарты, критерии качественной и количественной оценки. Определение типа производства, выбор и обоснование методов. Этапы разработки технологической схемы сборки.

    курсовая работа [346,4 K], добавлен 09.12.2014

  • Надежность машин и механизмов как важнейшее эксплуатационное свойство. Методы проектирования и конструирования, направленные на повышение надежности. Изучение влияния методов обработки на формирование физико-механических свойств поверхностного слоя.

    реферат [303,6 K], добавлен 18.04.2016

  • Выбор и обоснование технологической схемы производства, ее разработка и основные этапы. Характеристика сырья и готовой продукции. Автоматический контроль и регулирование параметров процессов. Описание и порядок расчета внутрицехового транспорта.

    дипломная работа [678,5 K], добавлен 12.10.2012

  • Анализ существующей методики получения поверхностного слоя методом электроискрового легирования, которая не учитывает образование слоя на начальном этапе. Зависимость переноса массы от плотности анода и катода. Образование первичного и вторичного слоя.

    статья [684,1 K], добавлен 21.04.2014

  • Химический состав, пищевая и биологическая ценность топленого молока. Требования к качеству сырья, используемого при производстве топленого молока. Выбор и обоснование методов, режимов и оборудования технологических процессов выработки топленого молока.

    курсовая работа [146,0 K], добавлен 19.12.2022

  • Классификация и разновидности железоуглеродистых сплавов в зависимости от содержания в них углерода. Кристаллизация заэвтектического чугуна, этапы данного процесса и его конечные продукты. Формирование структуры при охлаждении сталей и серых чугунов.

    презентация [3,7 M], добавлен 29.09.2013

  • Общие понятия о технологических размерных цепях, их виды. Условия осуществления размерного анализа технологических процессов. Основные методы и этапы расчета технологических размерных цепей. Назначение допусков на размеры исходной заготовки детали.

    презентация [774,8 K], добавлен 26.10.2013

  • Изучение и анализ существующих конструкций автоматических загрузочных устройств, механизмов автоматического контроля деталей и технологических процессов. Обоснование созданных конструкций. Вариантность при разработке робота технологических процессов.

    контрольная работа [500,7 K], добавлен 21.04.2013

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.