Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ-магнетронним розпиленням
Систематичне експериментальне дослідження складу, структури і основних властивостей плівкових систем у залежності від умов розпилення. Аналіз впливу температури конденсації та величини високочастотного потенціалу зсуву на характеристики конденсатів.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | автореферат |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 28.07.2014 |
| Размер файла | 23,8 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Размещено на http://www.allbest.ru
Размещено на http://www.allbest.ru
Вступ
Актуальність теми. Останнім часом все більшого поширення набувають тонкі плівки і функціональні покриття, що отримані методами фізичного осадження; найбільш розповсюдженими, досконалими та екологічно чистими з них є іонно-плазмові методи. Починаючи з 90-х років, зусилля багатьох дослідницьких груп зосереджено на створенні плівок наноструктурних матеріалів на основі фаз вторгнення, що мають ряд привабливих фізико-механічних властивостей: надвисоку твердість (40-70 ГПа), разом з досить високою пластичністю. Також перспективним напрямком є одержання епітаксійних шарів на кристалічних підкладках. Останнім часом, за згаданою тематикою, з'явилась череда публікацій, автори яких приводять експериментальні результати властивостей плівок (переважно систем Ti - B, Ti -N і Cr - B, Cr - N) тотожного складу, отриманих за допомогою аналогічних систем осадження. При цьому мають місце досить великі розбіжності (більш ніж удвічі) багатьох властивостей. Така ситуація обумовлена тим, що більшість дослідників, на жаль, не приділяють належної уваги режимам розпилення мішені разом з умовами осадження покриття.
Цікавим і актуальним питанням є також одержання більш детальної інформації про властивості епітаксійних і наноструктурних плівок, отриманих на основі таких мало вивчених (у стані покрить або плівок) на дійсний час матеріалів, як VB2 і ZrВ2.
Об'єктами дослідження даної роботи є плівки, отримані іонно-плазмовим розпиленням (ІПР) мішеней, які спечені з порошків ZrВ2 і VB2.
Предмет дослідження - зміни процесів фазоутворення, механізму зростання і властивостей плівок під впливом атомарних, іонно-плазмових потоків, які формуються розпилювальною системою (РС), а також умов конденсації.
Мета і задачі дослідження. Мета роботи полягає у вивченні структури і властивостей плівок тугоплавких боридів, в залежності від характеристик потоків часток що конденсуються, зміни яких, в свою чергу, викликані особливостями процесів розпилення у системах ІПР.
У роботі були поставлені і вирішені такі наукові задачі:
- проведено систематичне експериментальне вивчення змін складу, структури і властивостей плівок систем Zr-B та V-B у залежності від умов розпилення і конденсації;
- встановлено основні фактори, які впливають на зміни структури і властивостей плівок під час їх осадження, визначено характер їхнього впливу;
- запропоновано підхід, на підставі якого, можливо оцінювати умови формування та зростання конденсатів, які отримують за допомогою систем ІПР;
- запропонований підхід експериментально перевірено на прикладі осадження плівок двох систем, які вивчались у роботі;
- розроблено практичні рекомендації для осадження високотвердих наноструктурних і епітаксійних плівок досліджених сполук.
1. Відомості щодо техніки проведення експерименту
Представлено принципову схему ВЧ МРС, способи виміру характеристик розряду. Описано методи виміру товщини плівок (гравіметричний і інтерференційний). Наведено методики ПЕМ, ВІМС і рентгенодіфракційного аналізу. Надано методики і схеми приладів, для визначення електричних і мікромеханічних властивостей. Приведені значення похибок вимірів; методика розрахунку енергії адгезії й інтервалу епітаксійних температур.
2. Основні принципи та наближення для побудови механізму, що описує перенос атомів речовини яку розпилюють від поверхні мішені до поверхні підкладки, який дозволив би провести комп'ютерне моделювання цього процесу методом Монте-Карло
Ми вважали, що інтенсивність іонного бомбардування мішені однакова по всій поверхні, яку “прикрито” силовими лініями магнітного поля. Енергія атомів що “вибиті” з мішені однакова і дорівнює енергії їх зв'язку у молекулі речовини. Розподіл початкових швидкостей атомів по напрямку розраховувався відповідно до “підкосинусного” закону. Під час транспортування враховували тільки зіткнення атомів визначеного сорту з атомами робочого газу, які вважали пружними. Після кожного зіткнення розраховували зміни енергії і напрямку руху атома, при цьому швидкість атомів робочого газу приймали постійною за величиною і хаотичною за напрямком. Для атомів, що досягли поверхні підкладки, аналізували їх енергію і робили висновок про імовірність конденсації. Алгоритм моделювання передбав послідовний розгляд руху кожного окремого атома, який може виходити з будь-якого місця поверхні мішені. Добра повторюваність результатів мала місце, коли кількість незалежних іспитів була не менш 100 000 для кожного сорту розпилених атомів.
За умови достатнього часу розпилення для встановлення динамічної рівноваги, кількісне співвідношення атомів різних сортів, які “вибиті” із мішені, вважали таким що дорівнює стехіометричним коефіцієнтам. Якщо час розпилення менше, необхідно враховувати явище переважного розпилення. Тоді кількісне співвідношення атомів різних сортів може бути визначено в наближенні незалежних потоків атомів за формулою:
,
де i - імовірність перебування і-го елемента в емісійному шарі мішені; = kФ/Ф0, де dФ = Idt, I - щільність потоку іонів, t - час, Ф0 - повна доза опромінення для реалізації стаціонарного розпилення, k - відношення ефективності взаємодії атомів каскадів однакових і різних атомів, що відповідає за непружні втрати; Yi(x) - імовірність розпилення атомів i-го сорту з глибини x; - повний коефіцієнт розпилення.
За результатами аналізу енергетичного розподілу атомів, які конденсуються, отриманого моделюванням, запропоновано методику, за якою можливо проводити класифікацію енергетичних діапазонів атомів, що осаджуються з іонно-плазмових потоків, які відрізняються за впливом на процеси конденсації та зростання плівок. Виділено три характерні діапазони. Перший відповідає випадку, коли потік конденсації складається переважно з “холодних” атомів (їхня енергія на момент осадження не перевищує теплової за температури 1/3 від температури плавлення). Другий - кількість “холодних” і “гарячих” (їхня енергія вище зазначеної величини) порівняні; третій - “гарячих” атомів значно більше. Величина енергії атомів, що конденсуються, обумовлює їхню рухомість і величину співвідношення потоків j1 і j2, а отже і розбіжності в умовах зростання і фазоутворення.
Значення пересичення П1 можна оцінити виходячи з експериментально визначеної швидкості росту плівки і величини потоку зворотного випаровування за температурою що близька до температури плавлення (jи). Якщо плівка зростає за лінійним законом, величину потоку що падає на поверхню підкладки можемо визначити як: j2 = (Н / t) / Veff, де Н - товщина плівки, що виросла протягом часу t, Veff - ефективний об'єм фази яка росте (об'єм на один атом).
Величина j1 залежить від j2 і поверхневої дифузії атомів адшару, що, у випадку однокомпонентної пари, може бути оцінена за законом Фіка:
j1 = -Dsgrad n, де n = ns / h, h - товщина критичного зародку й адсорбційного шару, за яку, у випадку пошарового зростання, може бути прийнята міжплощинна відстань. У свою чергу, щільність часток в адсорбційному шарі можна оцінити як: ns , а grad n n/a; коефіцієнт поверхневої дифузії Ds адсорбованих атомів по поверхні підкладки: Ds a2cexp{-UD/k}, де а - параметр ґратки підкладки; c - частота теплових коливань адсорбованого атома, яка може бути оцінена за формулою Ліндемана для теплових коливань масивної речовини: , де Тs - температура плавлення, А - атомна вага, Va - атомний об'єм; за порядком величини, c зазвичай дорівнює 1012 1013 Гц; UD - висота потенційного бар'єра для перескоку в сусідню яму потенційного рельєфу поверхні.
Тоді пересичення визначиться як П1 j1 / jи.
Такий підхід до визначення пересичення дозволив уточнити раніше отриману формулу для визначення температур епітаксійного зростання однокомпонентних плівок, до якої додано параметр, який враховує поверхневу дифузію адсорбованих атомів. Для 0 0, тобто за умови середньої адгезії:
,
де:
W = . (1)
У випадку багатокомпонентних плівок, необхідно брати узагальнений коефіцієнт дифузії.
3. Результати дослідження плівок, що отримані розпиленням мішені VB2
На їх прикладі, більш докладно вивчався вплив швидкості конденсації плівки на її структуру і фазовий склад. Осадження проводилося переважно у III-му діапазоні, який сприяє утворенню боридних фаз.
Плівки, отримані за W 500-600 Вт, що відповідало швидкостям осадження (1,21,4)1020 ат/(м2с) мали характерну стовпчасту структуру з малими розмірами зерна ( 0,2 мкм на NaCl і 60-70 нм на Si та ситалі). Така структура обумовлена високими значеннями пересичень шару адсорбції. Плівки були багатофазними, їхню основу складали нанокристали VB2, на межах яких розподілено невпорядковані оксиди; разом з тим, у складі плівок зустрічалися кристалики V3B2 і V2O3. Зміни розмірів зерна за умови конденсації на різних підкладках можуть пояснюватись відмінностями в механізмах адсорбції атомів V і В на поверхнях іонних і ковалентних кристалів.
Наявність у складі плівок помітної кількості бориду V3B2 пов'язана з недостатністю атомів бору в потоці конденсації. Як показали результати моделювання переносу атомів, атоми бору внаслідок малої маси дуже розсіюються на атомах робочого газу. Істотний внесок у збідніння плівки бором вносить і дифузія його атомів у матеріал підкладки (за результатами ВІМС).
Зниження швидкості осадження супроводжується збільшенням розміру зерна і за малих швидкостей ( 1018 ат/(см2)) структура плівки являє собою суміш дрібних (декілька мкм) рівновісних кристаликів різних фаз.
Значення добутку pd за великої швидкості осадження впливає на кількісне співвідношення фаз що утворюються. Вплив цього параметру більш помітний за малих швидкостях конденсації, коли він значною мірою визначає ще й форми росту та структуру плівок.
Нагрівання підкладки до T 770 К приводить до зменшення швидкості конденсації (за рахунок збільшення потоку зворотного випаровування), збільшення рухливості адатомів і, як наслідок, до укрупнення зерна. На рис. 6 приведена типова структура плівок, що отримані на кремнієвих і ситалових підкладках при нагріванні. При цьому в плівках, отриманих за середніми і малими швидкостями осадження і значеннями pd < 35 Памм на підкладках Si (111) кристаліти V3B2 виявлялися текстурованими в напрямку . Текстурованість V3B2 у напрямку спостерігалася й у плівках які було осаджено на відколи NaCl (100) без підігріву за W < 350 Вт у тому ж діапазоні значень pd.
Такі результати цілком відповідають термодинамічним оцінкам температур гетероепітаксійного зростання які зроблено відповідно до формули (1), для сполучення ґраток Si(111)//V3B2(110) вони знаходилися в інтервалі 950-1200 К, а для NaCl(100)//V3B2(001) - 370 К.
Подача ВЧ потенціалу зсуву значно послабляла епітаксійний вплив підкладки, сприяла одержанню більш щільних плівок. При цьому помічено дещо неоднозначний вплив на розмір зерна, особливо за спільним впливом з нагріванням. На рис. 7 показана зміна розмірів зерна в залежності від температури підкладки в плівках, осаджених на Si і ситалових підкладках за W = 600 Вт і pd = 25 Памм при подачі Vc і без нього.
Структурні і фазові зміни, викликані в плівках, у результаті варіації W і pd обумовлювали зміни фізико-механічних властивостей цих плівок у широких інтервалах. Так, значення питомого електричного опору мінялися від 2 до 103 Омсм а мікротвердість - від 30 до 7 ГПа, у залежності від умов розпилення і конденсації.
Таблиця 1. Мікромеханічні властивості плівок системи V - B на Si підкладках
|
W, Вт |
Т 340 К, Vc > -20 В |
Т 770 К, Vc > -20 В |
Т 770 К, Vc -100 В |
|||||||
|
Hv, ГПа |
, ГПа |
Hv, ГПа |
, ГПа |
Hv, ГПа |
, ГПа |
|||||
|
600 |
26,3 |
3,23 |
0,73 |
23,7 |
3,05 |
0,63 |
29,9 |
3,7 |
0,55 |
|
|
400 |
17,1 |
2,96 |
0,96 |
15,2 |
2,71 |
0,85 |
18,9 |
3,1 |
0,73 |
|
|
200 |
10 |
2,73 |
1,12 |
8,6 |
2,53 |
0,91 |
11,2 |
2,96 |
0,84 |
Деякі дані, що показують зміни мікромеханічних властивостей плівок, товщиною 2,5 - 3 мкм, осаджених за pd < 35 Памм наведено в табл. 1, а рис. 8 ілюструє зміни мікротвердості плівок тієї ж товщини в залежності від швидкості конденсації за W > 400 Вт.
4. Експериментальні результати досліджень структури, фазового складу і властивостей плівок, що отримані за рахунок розпилення мішені ZrВ2
Конденсація здійснювалася переважно за Т 370 К та фіксованому значенні W = 200 Вт. За малих швидкостей осадження більш чітко виявлялися розходження в складі і структурі плівок, які було осаджено у різних діапазонах роботи РС. За структурою плівки являли собою квазіевтектичну суміш кристалів різних фаз із середніми розмірами зерна близько 1 - 3 мкм.
Плівки, що осаджені за pd > 100 Памм (І-й діапазон), складалися переважно з оксидів Zr, чистого Zr і невеликої кількості високодисперсної фази ZrВ2. Такі результати стають зрозумілі, якщо проаналізувати енергетичний спектр і кількісне співвідношення атомів, що конденсуються.
Мала енергія атомів, що конденсуються, позначається і на механізмі зростання плівок, обумовлюючи переважно нормальне зростання, при цьому наростаючі зерна мали складну субблочну структуру з розвинутою мережею дислокацій.
При зниженні значення pd змінюється кількісне співвідношення атомів різних сортів, які конденсуються, збільшується частка атомів з більш високими енергіями, що приводить до змін фазового складу і переважних форм росту. Тому, плівки які осаджено у другому діапазоні (40 < pd < 100 Памм) складалися з оксидів і бориду цирконію. Кристаліти зростали за змішаним механізмом (нормально і пошарово); зерно укрупнювалося (у середньому на 10-20 %), структура зерна на Si і сіталових підкладках втрачала субблочний характер.
Плівки нанесені в ІII-му діапазоні (pd < 40 Памм) складалися переважно з борида ZrВ2, чому сприяло збільшення кількості атомів бору, а також найбільша кількість атомів з високими енергіями. Для них більш характерним було пошарове зростання.
Результати досліджень показали, що із зменшенням величини pd від 140 до 30 Памм збільшується розмір зерна плівки, поліпшується структурна досконалість, у складі плівок зростає кількість боридів. Істотний вплив на процеси утворення і зростання плівок має і матеріал підкладки.
Нагрівання підкладки до 773 К не приводило до помітних змін фазового складу плівок, однак, як показали дослідження ВІМС, при цьому значно знижувалася кількість оксиду В2О3 в об'ємі плівок і підвищувалося в поверхневих шарах. Крім того, на Si підкладках, борид був текстурованим, зв'язаним з підкладкою співвідношенням: (111) Si // (100) ZrВ2, що узгоджується з теоретично розрахованим інтервалом. Вплив подачі потенціалу зсуву ставав помітним за Vc > 30 В та визначався зниженням пористості й ослабленням епітаксійного впливу підкладки.
Плівки на ситалових і Si підкладках мали рівну дзеркальну поверхню, але адгезія на ситалі була трохи вища в усіх діапазонах. Якісне порівняння адгезії і пластичних властивостей плівок виконувалося за результатами шкрябання, що проводилося за допомогою ПМТ-3.
Мікромеханічні й електричні властивості плівок (у залежності від діапазону) приведені в табл. 2, де: Hv - мікротвердість, - опір пластичної деформації, - критерій мікрокрихкості і табл. 3.
Таблиця 2. Мікромеханічні властивості плівок системи Zr - B
|
pd, Памм |
Режим |
Підкладка - Si |
Підкладка - сітал |
|||||
|
Hv, ГПа |
, ГПа |
|
Hv, ГПа |
, ГПа |
|
|||
|
>140 |
I |
1821 |
4.815.47 |
0.91.3 |
1619 |
4.935.72 |
0.851.21 |
|
|
14090 |
I |
3437 |
1.061.28 |
3.143.31 |
3538 |
1.251.37 |
2.983.11 |
|
|
9045 |
II |
2832 |
0.560.72 |
6.257.58 |
3033 |
0.800.97 |
5.987.06 |
|
|
4525 |
III |
3941 |
2.843.12 |
1.592.03 |
4143 |
2.953.23 |
1.501.84 |
Таблиця 3. Питомий опір електричному струму плівок, отриманих у системі Zr - B
|
pd,Па·мм |
Питомий опір, мкОм·м |
||
|
Ізольований підкладкоутримувач |
|||
|
Підкладка - Si |
Підкладка - ситал |
||
|
70 - 100 |
25,2 - 29,4 |
13,8 - 15,1 |
|
|
70 - 35 |
15,9 - 21,2 |
10,6 - 15,0 |
|
|
<35 |
5,6 - 10,5 |
4,9-11,0 |
|
|
Заземлений підкладкоутримувач |
|||
|
70 - 100 |
30,1 - 32,3 |
25,4 - 28,7 |
|
|
35 - 70 |
11,2 - 23,1 |
13,6 - 17,5 |
|
|
<35 |
8,45 - 10,4 |
5,8-12,2 |
Як видно з даних табл. 2, найбільш тверді плівки отримано осадженням в ІII-му діапазоні, вони мають найкращу адгезію. Це пов'язано, у першу чергу, з фазовим складом плівок і великою енергією атомів, які конденсуються, що створює умови для кращого сполучення ґраток плівки і підкладки. Електричний стан підкладки (заземлена чи ізольована, тобто знаходиться під дією потенціалу плазми розряду) не приводило до помітних змін мікромеханічних властивостей. Зниження ж величини при ізольованому підкладкоутримувачі може пояснюватись менш напруженим і пористим станом плівок.
Виміри температурного коефіцієнта опору в інтервалі температур від 250 до 380 К показали, що він позитивний і знаходиться в інтервалі значень від 0,0012 до 0,0015 %/град. Якої-небудь помітної залежності ТКО від товщини і фазового складу встановлено не було.
Найбільш тверді плівки отримано за умови одночасного впливу нагрівання і потенціалу зсуву в третьому діапазоні та найбільшій потужності генератора для них Нv 50 ГПа, що дозволяє віднести їх до надтвердих матеріалів. При цьому спостерігалося також найменше значення 1,8 1,9 мкОмм. У табл. 4 приведені дані, що стосуються впливу умов конденсації на мікромеханічні властивості плівок.
Таблиця 4. Вплив умов осадження на мікромеханічні властивості плівок системи Zr - B. Підкладка - Si
|
Режим |
Т 770 К, Vc > -25 В |
Т 770 К, Vc -120 В |
|||||
|
Hv,ГПа |
,ГПа |
|
Hv,ГПа |
,ГПа |
|
||
|
I |
29 |
2,11 |
1,16 |
28 |
3,3 |
0,31 |
|
|
II |
27 |
1,47 |
2,12 |
37 |
3,3 |
0,78 |
|
|
III |
40 |
3,3 |
0,72 |
45 |
4,31 |
0,56 |
Висновки
плівочний конденсат високочастотний
1. Проведено систематичне дослідження змін структури і властивостей плівок боридів перехідних металів, під впливом атомарних, іонно-плазмових потоків, які утворюються у системі розпилення, а також умов конденсації.
Встановлено, що:
за швидкостей конденсації > (8 - 9)1019 м-2с-1 формуються наноструктурні аморфно-кристалічні плівки, що мають стовпчасті зерна з розмірами менш ніж 150 нм;
основним чинником, який впливає на фазоутворення і переважний механізм зростання плівок є енергія атомів, що конденсуються, вона залежить від умов переносу розпиленої речовини від мішені до поверхні конденсації.
2. Виділено три основні енергетичні діапазони потоків атомів що конденсуються які різняться за впливом на процеси формування структури, складу та властивостей вакуумних конденсатів. На практиці їх зручно розділяти за значенням добутку pd.
3. Запропоновано механізм, який дозволяє здійснити моделювання характеристик потоків атомів, що конденсуються. Результати моделювання, разом з розрахунками пересичень відповідно до запропонованого підходу, дозволяють прогнозувати склад, структурну досконалість і властивості плівок різних матеріалів з високими температурами плавлення. Ці дані також сприяють більш глибокому розумінню процесів, що відбуваються при конденсації таких матеріалів.
4. Вперше розраховано інтервали температур епітаксійного зростання ZrВ2, V3B2 і VB2 на підкладках Si(111) і NaCl(100).
5. Додатковий підігрів підкладки або подача ВЧ потенціалу на його поверхню не приводять до істотних змін фазового складу плівок, найбільш тверді, щільні плівки з найменшими значеннями опору електричному струму осаджені при спільному впливі цих факторів, причому їхні значення повинні задовольняти умовам: Vc < - 40 В и Т > 520 570 К.
6. Плівки, отримані за рахунок розпилення ZrВ2 із швидкістю осадження 1,21020 м-2с-1 у третьому діапазоні при додатковому нагріванні підкладки до Т 770 К та подачі Vc -100 В, мають нанокристалічну структуру, мікротвердість Нv 55 ГПа і виявляють стабільність властивостей, що дозволяє віднести їх до розряду надтвердих матеріалів.
Література
1. Андриевский Р.А. Синтез и свойства пленок фаз внедрения // Успехи химии. -1997. -Т.66, №1. -C.57-86.
2.. Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок / Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П., Сойфер Я.М., Штанский Д.В // ФТТ. -1997. -Т. 39, №10, - С.1859-1864.
3. Low temperature ZrB2 remote plasma enhanced chemical vapor deposition /J.F. Pierson, T. Belmonte, T. Czerwiec, D. Hertz, H. Michel // Thin Solid Films. - 2000. - Vol.359, №1. - P.68-76.
4. J.F. Pierson, T. Belmonte, H.Michel. Structural characterisation of ZrB2/oxides nanocomposite films synthesised in flowing Ar-BCl3 post-discharges // Appl. Surf. Science. - 2001. - V.172, № 3-4. - P.285-294.
5. Kelosogly E., Mitterer C. Structure and properties of TiB2 based coatings prepared by unbalanced DC magnetron sputtering // Surf. Coating Technol. - 1998. -V.98. - P. 1483 - 1489.
6. Some peculiarities of fracture of nanocrystalline nitride and boride films / Andrievski R.A., Kalinnikov G.V., Jauberteau J., Bates J. // Journal of Mater. Science. - 2000. - V.35. - P.2799 - 2806.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Електрофізичні властивості гранульованих плівкових сплавів в умовах дії магнітного поля. Дослідження електрофізичних властивостей двошарових систем на основі плівок Ag і Co, фазового складу та кристалічної структури. Контроль товщини отриманих зразків.
дипломная работа [3,9 M], добавлен 08.07.2014Вивчення основних закономірностей тліючого розряду. Дослідження основних властивостей внутрішнього фотоефекту. Експериментальне вивчення ємнісних властивостей p–n переходів. Дослідження впливу електричного поля на електропровідність напівпровідників.
методичка [389,4 K], добавлен 20.03.2009Види магнітооптичних ефектів Керра. Особливості структурно-фазового стану одношарових плівок. Розмірні залежності магнітоопіру від товщини немагнітного прошарку. Дослідження кристалічної структури методом електронної мікроскопії та дифузійних процесів.
контрольная работа [1,5 M], добавлен 19.04.2016Експериментальне дослідження й оцінка термо- і тензорезистивних властивостей двошарових плівкових систем на основі Co і Cu, Ag або Au та Fe і Cr та апробація теоретичних моделей. Феноменологічна модель проміжного шару твердого розчину біля інтерфейсу.
научная работа [914,9 K], добавлен 19.04.2016Вивчення закономірностей тліючого розряду, термоелектронної емісії. Дослідження основних властивостей внутрішнього фотоефекту, впливу електричного поля на електропровідність напівпровідників. Експериментальне вивчення ємнісних властивостей p–n переходів.
учебное пособие [452,1 K], добавлен 30.03.2009Розмірні і температурні ефекти та властивості острівцевих плівок сплаву Co-Ni різної концентрації в інтервалі товщин 5-35 нм та температур 150-700 К. Встановлення взаємозв’язку морфології, структури та електрофізичних властивостей надтонких плівок.
дипломная работа [1,2 M], добавлен 12.12.2011Феромагнітні речовини, їх загальна характеристика та властивості. Магнітна доменна структура, динаміка стінок. Аналіз впливу магнітного поля на електричні і магнітні властивості феромагнетиків. Магніторезистивні властивості багатошарових плівок.
курсовая работа [4,7 M], добавлен 15.10.2013Види, конструктивні відзнаки електронно-променевих випарників; особливості графітових або мідних водоохолоджуючих тиглів, електронно-променевих гармат, катодного, високочастотного і реактивного розпилення; переваги і недоліки принципу дії випарників.
реферат [1,1 M], добавлен 25.03.2011Температурна залежність опору плівкових матеріалів: методика і техніка проведення відповідного експерименту, аналіз результатів. Розрахунок та аналіз структурно-фазового стану гранульованої системи Ag/Co. Аналіз небезпечних та шкідливих факторів.
дипломная работа [5,7 M], добавлен 28.07.2014Характеристика основних вимог, накладених на різні методи одержання тонких діелектричних плівок (термовакуумне напилення, реактивне іонно-плазмове розпилення, термічне та анодне окислення, хімічне осадження) та визначення їхніх переваг та недоліків.
курсовая работа [2,4 M], добавлен 12.04.2010Характеристика основних властивостей рідких кристалів. Опис фізичних властивостей, методів вивчення структури рідких кристалів. Дослідження структури ліотропних рідких кристалів та видів термотропних.
курсовая работа [1,6 M], добавлен 17.06.2010Методи дослідження наноматеріалів. Фізичні основи практичного використання квантово-розмірних систем. Особливості магнітних властивостей наносистем. Очищення і розкриття нанотрубок, їх практичне застосування. Кластерна структура невпорядкових систем.
учебное пособие [5,4 M], добавлен 19.05.2012Взаємодія заряджених частинок з твердим тілом, пружні зіткнення. Види резерфордівського зворотнього розсіювання. Автоматизація вимірювання температури підкладки. Взаємодія атомних частинок з кристалами. Проведення структурних досліджень плівок.
дипломная работа [2,5 M], добавлен 21.05.2015Теплофізичні методи дослідження полімерів: калориметрія, дилатометрія. Методи дослідження теплопровідності й температуропровідності полімерів. Дослідження електричних властивостей полімерів: електретно-термічний аналіз, статичні та динамічні методи.
курсовая работа [91,3 K], добавлен 12.12.2010Дослідження електричних властивостей діелектриків. Поляризація та діелектричні втрати. Показники електропровідності, фізико-хімічні та теплові властивості діелектриків. Оцінка експлуатаційних властивостей діелектриків та можливих областей їх застосування.
контрольная работа [77,0 K], добавлен 11.03.2013Основні властивості неупорядкованих систем (кристалічних бінарних напівпровідникових сполук). Характер взаємодії компонентів, її вплив на зонні параметри та кристалічну структуру сплавів. Електропровідність і ефект Холла. Аналіз механізмів розсіювання.
реферат [558,1 K], добавлен 07.02.2014Призначення та область використання роторно плівкових апаратів. Класифікація плівкових апаратів. Опис процесу гідродинаміки в роторно плівковому апараті. Мінімальна густина зрошення. Аналіз впливу витрат, числа лопатей та в’язкості на тепловіддачу.
курсовая работа [507,3 K], добавлен 13.01.2018Характеристики та класифікація напівпровідників. Технологія отримання напівпровідників. Приготування полікристалічних матеріалів. Вплив ізохорного відпалу у вакуумі на термоелектриці властивості і плівок. Термоелектричні властивості плюмбум телуриду.
дипломная работа [4,4 M], добавлен 09.06.2008Методи добування наночастинок. Рентгенофазовий аналіз речовини. Ніхром та його використання. Рентгеноструктурні дослідження наночастинок, отриманих методом вибуху ніхромових дротинок. Описання рефлексу оксиду нікелю NiO за допомогою функції Гауса.
курсовая работа [316,6 K], добавлен 24.05.2015Вивчення законів, на яких ґрунтується молекулярна динаміка. Аналіз властивостей та закономірностей системи багатьох частинок. Огляд основних понять кінетичної теорії рідин. Розрахунок сумарної кінетичної енергії та температури для макроскопічної системи.
реферат [122,5 K], добавлен 27.05.2013
