Технологии производства микроактюаторов

Характеристика кремниевой объёмной микрообработки. Рассмотрение маскирования полимерами и тонкими плёнками. Изучение прохождения химического осаждения из паровой фазы при пониженном давлении поликристаллического кремния или фосфорокварцевого стекла.

Рубрика Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника
Предмет Коммуникации
Вид лекция
Язык русский
Прислал(а) chastinvest
Дата добавления 26.10.2013
Размер файла 253,3 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Сущность и задачи литографии. Описание процесса создания рисунка с использованием фотолитографии на кремниевой подложке. Исследование режимов технологического процесса ионного легирования в кремниевой технологии при помощи компьютерных программ.

    реферат [23,9 K], добавлен 01.02.2016

  • Производство полупроводникового кремния. Действие кремниевой пыли на организм. Защита органов дыхания. Литография как формирование в активночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка. Параметры и свойства фоторезистов.

    курсовая работа [23,8 K], добавлен 09.03.2009

  • Изучение температурной зависимости подвижности и проводимости носителей заряда в полупроводниках. Основные электрофизические свойства кремния и германия, мелкие акцепторные и донорные уровни. Спектральный диапазон оптической прозрачности чистого кремния.

    курсовая работа [266,1 K], добавлен 22.12.2014

  • Кремний как основной материал микроэлектроники. Блок-схема датчика давления, применение в них тензометрических, резонансных или емкостных преобразователей. Преимущества интегральных механоэлектрических преобразователей по сравнению с традиционными.

    реферат [313,1 K], добавлен 29.09.2010

  • Каталитические и некаталитические реакции, метод анодирования, метод электрохимического осаждения пленок для интегральной электроники. Сущность метода газофазного осаждения для получения покрытия из AlN. Физикохимия получения пленочных покрытий.

    курсовая работа [362,8 K], добавлен 29.04.2011

  • Изучение требований, предъявляемых к тонкопленочным резисторам. Физическая природа удельного электрического сопротивления пленок. Изучение методов осаждения пленок. Способы конструирования тонкопленочных резисторов. Выбор геометрии и площади резистора.

    реферат [3,2 M], добавлен 07.11.2010

  • Диффузия - перенос атомов в результате теплового движения; распределение примеси. Объемные и диффузионные полупроводниковые резисторы. Определение концентрации донорной примеси в исходной пластине кремния; расчет коэффициентов диффузии для бора и фосфора.

    курсовая работа [698,7 K], добавлен 17.05.2013

  • Законы и критерии оценки пропорциональной миниатюризации. Различные типы микроактюаторов. Электростатические, магнитные, пьезоэлектрические, гидравлические, тепловые актюаторы. Группы материалов при создании микросистем: конструкционные; "активные умные".

    реферат [2,5 M], добавлен 05.02.2011

  • Анализ технологии изготовления плат полупроводниковых интегральных микросхем – такого рода микросхем, элементы которых выполнены в приповерхностном слое полупроводниковой подложки. Характеристика монокристаллического кремния. Выращивание монокристаллов.

    курсовая работа [2,0 M], добавлен 03.12.2010

  • Процесс производства печатных плат. Методы создания электрических межслойных соединений. Химическая и электрохимическая металлизация. Контроль качества химического меднения. Растворы для тонкослойного и меднения. Виды брака на линии химического меднения.

    курсовая работа [2,2 M], добавлен 14.05.2011

  • Рассмотрение характеристик аналоговых непериодического и периодического сигналов; их типовые составляющие. Изучение основ методов анализа сигналов во временной и частотной областях; расчет их прохождения через линейную цепь на примере решения задачи.

    курсовая работа [2,3 M], добавлен 12.03.2014

  • Элементная база и расчет передаточных функций для автоматизации системы очистки стекла спортивного самолета. Деление ЛСУ на изменяемую и неизменяемую части. Построение логарифмических характеристик. Разработка аналогового корректирующего устройства.

    курсовая работа [325,5 K], добавлен 20.10.2013

  • Физические характеристики речи. Характеристики некоторых источников шума. Акустические и виброакустические каналы утечки информации. Технология работы инфракрасных прослушивающих устройств. Существующие схемы реализации модуляторов оконного стекла.

    курсовая работа [705,8 K], добавлен 04.02.2015

  • Анализ метода восстановления фазы когерентной несущей частоты сигнала, принимаемого цифровым приемником через блок цифрового восстановления фазы когерентной несущей. Методика вывода передаточной функции фильтра, оценки его устойчивости к самовозбуждению.

    статья [277,6 K], добавлен 07.12.2014

  • Определение спектров тригонометрического и комплексного ряда Фурье, спектральной плотности сигнала. Анализ прохождения сигнала через усилитель. Определение корреляционной функции. Алгоритм цифровой обработки сигнала. Исследование случайного процесса.

    контрольная работа [272,5 K], добавлен 28.04.2015

  • Классификация, структура, принцип работы, обозначение и применение полупроводниковых диодов, их параметры. Расчет вольтамперных характеристик при малых плотностях тока. Особенности переходных характеристик диодов с р-базой. Методы производства диодов.

    курсовая работа [923,5 K], добавлен 18.12.2009

  • Т-образный реактивный полосовой фильтр, его основные параметры. Анализ прохождения периодической последовательности импульсов через электрический фильтр с заданными параметрами реальных элементов. Входное сопротивление нагруженного четырехполюсника.

    курсовая работа [1,3 M], добавлен 07.08.2013

  • Рассмотрение классификации компоновочных схем гибких производственных модулей в зависимости от серийности производства (с промежуточным накопителем), типовой технологии, взаиморасположения рабочих зон и зон обслуживания (фронтальная, дипольная, угловая).

    контрольная работа [2,2 M], добавлен 23.05.2010

  • Материалы для изготовления оптических деталей, их оптические характеристики. Обработка деталей оптических приборов. Нормируемые показатели качества оптического стекла. Пороки стекла. Цветное оптическое стекло, его типы. Кварцевое оптическое стекло.

    реферат [52,5 K], добавлен 22.11.2008

  • Рассмотрение технологичности конструкции усилителя тока. Изучение разработки схемы сборки с базовой деталью. Проведение технико-экономического сравнения вариантов маршрутной технологии. Основные правила техники безопасности при эксплуатации оборудования.

    курсовая работа [115,7 K], добавлен 17.04.2014

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.