Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)
Встановлення впливу очистки полікристалічних стрижнів кремнію на властивості монокристалів. Розроблення технології для прецизійного легування у процесі безтигельної зонної плавки. Вплив радіаційної обробки монокристалів на їх структурну досконалість.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | автореферат |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 21.11.2013 |
| Размер файла | 55,3 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Розроблена технологія монокристалічного кремнію діаметром 105 мм, яка дозволяє виробляти монокристали із наступними характеристиками:
- питомий електричний опір, Омсм:
- для n-типу електропровідності - 2,53000;
- для p-типу електропровідності - 2,05000;
- кристалографічна орієнтація - [111]; [100];
- радіальна неоднорідність питомого електричного
опору,%, не більше:
- для монокристалів, легованих у процесі
вирощування - 1015
- для легованих нейтронною трансмутаціею
монокристалів - 510
- час життя неосновних носіїв заряду, мкс, не менше - 100 1000
- густина дислокацій, см-2, не більше - 10;
- концентрація кисню, см-3, не більше - 11016;
- концентрація вуглецю, см-3, не більше - 11016;
- наявність свирл-дефектів - буде відстуня;
- наявність мікродефектів - за вимогою;
- вихід придатних монокристалів (за вагою до вихідного полікристалічного кремнію),%, не менше - 650в залежності від вимоги).
10. Технологія впроваджена на Запорізькому титано-магнієвому комбінаті (Україна) і на Подільському хіміко-металургійному заводі (м. Подільськ, Росія).
Розроблена технологія дозволяє за наявності відповідного обладнання виробляти методом безтигельної зонної плавки бездислокаційні монокристали кремнію діаметром до 150 мм.
Список використаної літератури
1. Gill T. Chips and Wafers - a growing appetite for silicon//Metal Bulletin Monthly. - March 1997. - P. 52-53.
2. Dunn P.N. Perspectives for 1996: a fast growth, however 1995 year was too active for its repeat//Solid State Technology. - 1996. - №1. - P. 52-55.
3. Керування формою росту кристалів/Саллі І.В., Фалькевич Е.С. - К.: Наукова думка, 1989. - 160 с.
4. Voronkov V.V. The mechanism of swirl defects formation in silicon//Crystal Growth. - 1982. - v. 59. - №3. - Р. 625-643.
Технология полупроводникового кремния./ Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф., Шварцман Л.Я., Яркин В.Н., Салли И.В. - М.: Металлургия, 1992. - 408с.
Червоный И.Ф. Перспективы развития технологии выращивания высокочистых монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки//Металлургическая и горнорудная промышленность. - 1998.-№2. - С. 79-83.
Червоный И.Ф. Особенности образования микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния, выращенных в процессе бестигельной зонной плавки // Теорія і практика металургії. - 1997. - №4. - С. 15-23.
Червоный И.Ф. Влияние качества исходного поликристаллического кремния на радиальную неоднородность его монокристаллов // Состояние, проблемы и направления развития производства цветных металлов в Украине.- ЗГИА.- Запорожье. - 1997. - С.342-346.
Червоный И.Ф. Перспективы развития технологии получения высокочистых монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки // Состояние, проблемы и направления развития производства цветных металлов в Украине. - ЗГИА. - Запорожье. - 1997. - С.58-65.
Неймарк К.Н., Осовский М.И., Червоный И.Ф. Легирование в процессе бестигельной зонной плавки // Цветные металлы. - 1978. - №4. - С. 50-52.
Осовский М.И., Червоный И.Ф., Шагун А.В. Влияние давления газовой среды на свойства монокристаллов кремния, полученных бестигельной зонной плавкой // Цветные металлы. - 1979. - №8. - С. 78-79.
Осовский М.И., Фалькевич Э.С., Червоный И.Ф. Влияние градиента температуры на образование микродефектов при выращивании монокристаллов кремния // Известия АН СССР Неорганические материалы.- 1983. - т.19. - №3. - С. 476-477.
Осовский М.И., Фалькевич Э.С., Червоный И.Ф. Образование свирл-дефектов в бездислокационных монокристаллах кремния // Физика твердого тела. - 1983. - т.25, - №9. - С. 2842-2844.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Перeваги кремнію – основного матеріалу напівпровідникової техніки. Вирощування монокристалів із розплаву. Методи вирощування Стокбаргера і Бріджмена на основі переміщення тигля в температурному градієнті. Очищення методом зонної плавки, її варіанти.
курсовая работа [3,2 M], добавлен 09.04.2011Літературний огляд властивостей та технології отримання монокристалів германія. Властивості монокристалів, їх кристалографічна структура, фізико-хімічні, електрофізичні та оптичні властивості. Технологічні умови вирощування германію, його застосування.
курсовая работа [2,0 M], добавлен 03.05.2015Різання монокристалів кремнію та напівпровідникових злитків на пластини. Приклейка монокристалу до оснащення і установка його на відрізні верстати. Підвищення якості відрізаних пластин через використання алмазного круга з внутрішньої ріжучої крайкою.
практическая работа [38,0 K], добавлен 14.01.2011Визначення мети, предмету та методів дослідження. Опис методики обладнання та проведення експериментів. Сплав ZrCrNi як основний об’єкт дослідження. Можливості застосування та вплив водневої обробки на розрядні характеристики і структуру сплаву ZrCrNi.
контрольная работа [48,7 K], добавлен 10.07.2010Кристало-хімічні особливості та фазові перетворення напівпровідникового кремнію. Механізми мартенситного перетворення. Особливості розчинності домішок. Взаємозв'язок між енергією зв'язку і зарядовою щільністю для міжатомної відстані кристалічній решітці.
дипломная работа [1,7 M], добавлен 25.03.2014Вплив окремих елементів на властивості жароміцної сталі. Вибір футерівки для плавильного агрегату. Фізико-хімічні основи виплавки сталі в дугових електропечах. Підготовка шихти до завалки. Шихтові матеріали та їх підготовка. Окислювальний період плавки.
курсовая работа [550,7 K], добавлен 06.04.2015Особливості технології зварювання плавленням металоконструкцій. Способи зварювання сталі: ручне електродугове зварювання, напівавтоматичне зварювання в СО2. Порівняльний аналіз конструктивних, технологічних та економічних факторів технології зварювання.
реферат [412,4 K], добавлен 13.12.2011Отримання експериментальних даних про вплив іонізуючого опромінення на структуру та магнітні властивості аморфних і нанокристалічних сплавів на основі системи Fe Si-B. Результати досідження, їх аналіз та встановлення основних механізмів цього впливу.
реферат [32,4 K], добавлен 10.07.2010Вибір, обґрунтування технологічного процесу термічної обробки деталі типу шпилька. Коротка характеристика виробу, що піддається термічній обробці. Розрахунок трудомісткості термічної обробки. Техніка безпеки, електробезпеки, протипожежні міри на дільниці.
курсовая работа [70,6 K], добавлен 10.09.2012Розробка технології, що забезпечує одержання товстих листів з мінімальною різнотовщинністю, попереджає можливе забуртовування розкатів в процесі і прокатки на підставі експериментальних досліджень профілювання валків чорнової та чистової клітей ТЛС 2250.
дипломная работа [4,5 M], добавлен 31.03.2009Основні принципи підвищення зносостійкості порошкових матеріалів на основі заліза. Вплив параметрів гарячого штампування на структуру і властивості отримуваних пористих заготовок. Технологія отримання композитів на основі системи карбід титану-сталь.
дипломная работа [4,8 M], добавлен 27.10.2013Аналіз технологічних вимог деталі. Розрахунок операційних припусків аналітичним методом та встановлення міжопераційних розмірів та допусків. Маршрут обробки деталі. Розробка технологічних процесів. Вибір різального та вимірювального інструментів.
курсовая работа [1,6 M], добавлен 08.01.2012Вивчення технології токарної обробки деталі в одиничному та серійному виробництвах. Схема технологічного налагодження обробки зубчастого колеса на одношпиндельному багаторізцевому напівавтоматі. Особливості обробки заготовки при складній конфігурації.
реферат [616,6 K], добавлен 20.08.2011Технологічна спадковість як перенесення на готову деталь у процесі її обробки властивостей вихідної заготовки чи властивостей і похибок, що сформувалися у заготовці на окремих операціях виготовлення деталі. Вплив режимів обробки на властивості деталей.
контрольная работа [643,3 K], добавлен 08.06.2011Проектування підйомно-транспортних систем ткацького виробництва, дослідження технологічного плану ткацтва. Розробка засобів механізації та транспортної технології для здійснення ефективного технологічного процесу виготовлення тканини вказаного артикула.
курсовая работа [102,4 K], добавлен 16.01.2011Приминение бестигельной зонной плавки. Применение метода зонной плавки для глубокой очистки металлов, полупроводниковых материалов и других веществ. Оборудование для зонной плавки. Установки зонной плавки в контейнерах. Влияние электромагнитных полей.
курсовая работа [831,7 K], добавлен 04.12.2008Підготовка та опис основних методик експерименту. Вплив водню на електронну структуру та пружні властивості заліза. Дослідження впливу легуючих елементів на міграцію атомів водню і впливу е-фази на механічні властивості наводнених аустенітних сталей.
реферат [44,2 K], добавлен 10.07.2010Призначення, опис і умови роботи зварної конструкції. Розробка маршрутної технології збирання-зварювання. Розрахунок і вибір режимів. Обгрунтування зварювального обладнання. Ділянка цеху для виготовлення обечайки хвостової і опис технологічного потоку.
курсовая работа [105,9 K], добавлен 26.06.2009Вивчення асортименту вуглецевих труб ХПТ-55 і розробка технології холодного плющення. Деформація металу і розрахунок маршруту плющення при виробництві труб. Розрахунок калібрування робочого інструменту і продуктивності устаткування при виробництві труб.
курсовая работа [926,5 K], добавлен 26.03.2014Вплив домішок на властивості міді, її фізичні та механічні властивості. Вибір способу зварювання. Ручне дугове зварювання графітовим електродом. Зварювання під флюсом. Механічні властивості дроту. Розроблення зварювальних кромок. Термічна обробка.
контрольная работа [228,7 K], добавлен 16.06.2016
