Напружений стан та структура іонно-плазмових конденсатів з гексагональною і кубічною решіткою
Напружений стан монокристалічних і текстурованих матеріалів. Аналіз стискаючих неоднорідно-розподілених по товщині іонно-плазмових плівок. Релаксація та формування пружних спотворень. Оптимізація технології отримання оболонок із заданими властивостями.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | автореферат |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 28.07.2014 |
| Размер файла | 129,8 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Изучены особенности формирования структуры на начальных стадиях роста магнетронных пленок путем исследования тонких нанометровых слоев W в многослойных периодических композициях W/Si. Установлено, что тонкие (10 нм) слои являются аморфными и имеют структуру с ближним порядком, который подобен структуре кристаллического W3O. Снижение уровня сжимающих остаточных напряжений вблизи подложки в однослойных ионно-плазменных пленках толщиной 1 мкм объясняется уменьшением удельного объема при кристаллизации аморфной фазы, сформированной на начальной стадии роста пленки.
Предложена качественная модель формирования напряженного состояния конденсатов, осаждаемых из потоков частиц с энергией Е в диапазоне 10ч150 эВ на подложки при температуре Т<1/3Тпл. Предполагается, что основной причиной возникновения сжимающих остаточных макродеформаций является увеличение удельного объема закрепленной на подложке пленки, обусловленное радиационно-стимулированным процессом насыщения конденсатов межузельными атомами. Уровень напряжений и степень совершенства текстуры в пленках, зависят от интенсивности релаксационных процессов, связанных с отжигом межузельных атомов. Низкая энергия осаждаемых частиц и высокое содержание примесей затрудняет протекание релаксационных процессов.
Основные результаты работы расширяют существующие представления о механизме формирования остаточных напряжений в ионно-плазменных конденсатах и могут быть использованы для оптимизации технологии получения пленок с заданными свойствами.
Ключевые слова: ионно-плазменный конденсат, фазовый состав, рентгеновская тензометрия, остаточные напряжения, период кристаллической решетки, текстура.
Reshetnyak E.N. Stress state and structure of ion-plasma condensates with hexagonal and cubic lattice. - Manuscript.
Thesis on science degree of candidate of physical and mathematical sciences on the speciality 01.04.07- Physics of solids.- Kharkov National Karazin University, Kharkov 2004.
The thesis is devoted to X-ray study of structure and stress state of condensates Ti, W, Ti-N, Cr-N and Ti-Cr-N with thickness from 1 to 104 nm, produced by magnetron and vacuum-arc methods under different condensation conditions. А technique for studying the stress state in single-crystalline and textured materials with hexagonal lattice was developed, which allowed simultaneous determination of macrostresses (1, 2) and crystalline lattice parameters corresponded non-stressed crystal (aо, cо). High compressive stresses (0,5ч5 GPа) non-uniformly distributed by thickness of ion-plasma films and lattice parameters increased comparing to nominal ones were revealed. A correlation between stress state, lattice elastic distortion relaxation and texture formation was determined. The influence of condensed particle average energy on film residual stress was analyzed. The main results of the work extend the existent knowledge about mechanism of residual stress formation in ion-plasma condensates and may be applied for technology optimization of films with predetermined properties.
Key words: ion-plasma condensates, phase composition, X-ray tensomatry, residual stresses, crystalline lattice parameter, texture.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Характеристика методів отримання плівкових матеріалів, заснованих на фізичному випаровуванні: від історично перших методів термічного випаровування до сучасних іонно-плазмових, молекулярно-променевих та лазерних методів осадження. Рідкофазна епітаксія.
курсовая работа [865,1 K], добавлен 17.05.2012Способи одержання плазми. Загальна характеристика та основні вимоги до плазмових джерел. Фізико-технічні завдання, що виникають при конструюванні плазмових джерел. Відмінні особливості та застосування плазмових джерел із замкненим дрейфом електронів.
дипломная работа [1,4 M], добавлен 20.03.2011Характеристика основних вимог, накладених на різні методи одержання тонких діелектричних плівок (термовакуумне напилення, реактивне іонно-плазмове розпилення, термічне та анодне окислення, хімічне осадження) та визначення їхніх переваг та недоліків.
курсовая работа [2,4 M], добавлен 12.04.2010Сутність технології GаАs: особливості арсеніду галію і процес вирощування об'ємних монокристалів. Загальна характеристика молекулярно-променевої епітаксії, яка потрібна для отримання плівок складних напівпровідникових з’єднань. Розвиток технологій GаАs.
курсовая работа [3,4 M], добавлен 25.10.2011Математична модель, яка включає замкнуту систему рівнянь і співвідношень, що описують зумовлений зовнішнім тепловим опроміненням термонапружений стан частково прозорого тіла. Визначення параметрів електромагнітного випромінювання і термонапруженого стану.
автореферат [66,8 K], добавлен 10.04.2009Характеристики та класифікація напівпровідників. Технологія отримання напівпровідників. Приготування полікристалічних матеріалів. Вплив ізохорного відпалу у вакуумі на термоелектриці властивості і плівок. Термоелектричні властивості плюмбум телуриду.
дипломная работа [4,4 M], добавлен 09.06.2008Розробка уроку фізики, на якому дається уявлення про тепловий стан тіла і довкілля. Аналіз поняття "температура", ознайомлення зі способами вимірювання цієї величини. Опис шкал Цельсія, Реомюра, Фаренгейта, Кельвіна. Огляд конструкцій термометрів.
конспект урока [8,4 M], добавлен 20.12.2013Розмірні і температурні ефекти та властивості острівцевих плівок сплаву Co-Ni різної концентрації в інтервалі товщин 5-35 нм та температур 150-700 К. Встановлення взаємозв’язку морфології, структури та електрофізичних властивостей надтонких плівок.
дипломная работа [1,2 M], добавлен 12.12.2011Коливання ребристих оболонок на пружній основі з використанням геометрично нелінійної теорії стержнів і оболонок типу Тимошенка. Взаємодія циліндричних та сферичних оболонок з ґрунтовим середовищем. Чисельні алгоритми розв'язування динамічних задач.
автореферат [103,4 K], добавлен 10.04.2009Сучасні технології теплової обробки матеріалів з використанням досвіду з виготовлення цементу, будівельної кераміки, залізобетону. Теплофізичні характеристики газів, повітря, водяної пари, видів палива, родовищ України, місцевих опорів руху повітря.
реферат [489,2 K], добавлен 23.09.2009Дослідження явищ діамагнетизму, феромагнетизму та парамагнетизму. Розгляд кривої намагнічування та форми петлі гістерезису. Виокремлення груп матеріалів із особливими магнітними властивостями. Вимоги до складу і структури магнітно-твердих матеріалів.
дипломная работа [34,3 K], добавлен 29.03.2011Структура і фізичні властивості кристалів Sn2P2S6: кристалічна структура, симетрійний аналіз, густина фононних станів і термодинамічні функції. Теорія функціоналу густини, наближення теорії псевдо потенціалів. Рівноважна геометрична структура кристалів.
дипломная работа [848,2 K], добавлен 25.10.2011Дослідження функцій, які описують спектри модуляційного фотовідбивання; експериментально отримано спектри модуляційного фотовідбивання для епітаксійних плівок; засобами пакету MatLab апроксимовано експериментальні спектри відповідними залежностями.
курсовая работа [815,3 K], добавлен 08.06.2013Способи та джерела отримання біогазу. Перспективи його виробництва в Україні. Аналіз існуючих типів та конструкції біогазових установок. Оптимізація їх роботи. Розрахунок продуктивності, основних параметрів та елементів конструкції нової мобільної БГУ.
дипломная работа [2,6 M], добавлен 21.02.2013Генеруючи потужності України, зруйновані під час бойових дій. Стан порушених ТЕЦ. Розподіл операційної потужності об’єктів електрогенерації. Вартість газу, нафти, вугілля та електроенергії за останній час. Контекст та цілі плану відновлення України.
презентация [3,5 M], добавлен 15.12.2022Основні способи отримання електрики з сонячного випромінювання. Стан і перспективи розвитку сонячної енергетики. Значення і перспективи реалізації проектів по організації виробництва сонячних батарей в Україні. Найбільша у світі сонячна електростанція.
реферат [843,1 K], добавлен 06.05.2015Феромагнітні речовини, їх загальна характеристика та властивості. Магнітна доменна структура, динаміка стінок. Аналіз впливу магнітного поля на електричні і магнітні властивості феромагнетиків. Магніторезистивні властивості багатошарових плівок.
курсовая работа [4,7 M], добавлен 15.10.2013Водень як один з найбільш поширених елементів на Землі. Поняття водневої технології. Методи отримання водневого палива. Різновиди водню та їх характеристика. Роль водню і водневої технології у кругообігу речовин у природі. Водневі двигуни та енергетика.
реферат [37,1 K], добавлен 25.09.2010Значення теплових електростанцій в регіонах України. Місце гідроелектростанції в електроенергетиці країни. Використання нетрадиційних джерел енергії. Технічний стан електроенергетики. Структура та обсяги виробництва електроенергії в енергосистемі держави.
презентация [3,3 M], добавлен 02.12.2014Поглиблення знання з основ газових законів та перевірка вміння та навичок при розв’язуванні задач. Механічні властивості тіл. Класифікація матеріалів за властивостями для будови деталей. Вміння користуватися заходами термодинаміки при розв’язуванні задач.
учебное пособие [66,9 K], добавлен 21.02.2009
