Физико-технологические особенности вакуумных методов формирования оксидных покрытий
Вакуумно-плазменные методы формирования пленочных структур из тугоплавких оксидов. Особенности снижения влагосодержания в пленках путем отжига и получения покрытий с малой пористостью при электронно-лучевом испарении мишени и лазерной обработке структур.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | дипломная работа |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 11.07.2016 |
| Размер файла | 1,4 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
9. Гайнутдинов И.С. Свойства и методы получения интерференционных покрытий для оптического приборостроения / И.С. Гайнутдинов, Е.А. Несмелов. - Казань: Изд-во ФЭН, 2003. - 424 с.
10. Особенности нанесения покрытия методом электроннолучевого испарения Г.В. Пантелеев, М.Г. Черенков, Б.В. Шафиркин, В.И. Ямпольский, В.Н. Егоров // Оптико-механическая промышленность. - 1983. - № 9. - С. 30-32.
11. Синтез просветляющих покрытий методом прямого поиска Г.Я. Колодный, Е.А. Левчук, Б.Б. Мешков, П.П. Яковлев // Квантовая электроника. - 1978. - Т.5, № 1. - С. 83-88.
12. Карпенко Г.Д. Современные методы генерации осаждаемого вещества при нанесении тонкоплёночных покрытий в вакууме / Г.Д. Карпенко, В.Л. Рубинштейн. Минск: БелНИИНТИ, 1990. - 36 с.
13. Риттер Э. Плёночные диэлектрические материалы для оптических применений / Э. Риттер, М. Франкомбра, Р. Гофмана. - М.: Мир, 1978. - 60 с.
14. Майссела Л. Технология тонких плёнок: справочник / Л. Майссела, Р. Глэнга. - М.: Сов. радио, 1977. - 662 с.
15. Глудкин О.П. Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС / О.П. Глудкин, А.Е. Густов. - М.: Радио и связь, 1981. - 112 с.
16. Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. - М.: Металлургия, 1992. - 161 с.
17. Покрытия оптических деталей. Типы, основные параметры и методы контроля. - Введ. 1995.07.06. - М.: ЦНИИ "Комплекс", 1995. - 190 с.
18. Лазерный метод получение защитных покрытий плёнками тугоплавких окислов / Малащенко А.Т., Пенязь В.А., Сердюков А.Н., Федосенко Н.Н.// Тезисы докл. Всесоюзного научно-технического семинара "Лазерная технология в приборостроении", Рига 1985. С. 179.
19. Л.А Сурменко, Ю.Д. Самарин, Т.Л. Якушева, Н.Н. Федосенко/ Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике Ч. 1 Лагерный эрозионный факел и его основные свойства. //Технология, организация производства и оборудование. Сер. 7. Выпуск б (1440) - М.: ЦНИИ "Электроника ". - 1989. С. 1-46.
20. Шаганов И.И., Русакова О.Ю., Введенский В.Д. Влияние технологических факторов на характер оптической неоднородности оксидных слоёв, получаемых методом испарения. // 0МП. -1988. -№9. С. 13.
21. Самарин Ю.Д., Сурменко Л.А., Якушева Т.Л. Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике. Ч.2. Осаждение лазерного эрозионного факела, формирование покрытия. Свойства пленок. //Технология, организация производства и оборудование Сер.7. Выпуск 10 (1543). М.; ЦНИИ "Электроника". - 1990. - 53 с.
22. Первеев А.Ф., Муранова Г.А., Золотарев В.М. Спектроскопический метод определения сорбционной способности и пористости тонких твёрдых веществ. // ФТТ -1971 -Т.14, вып. 10. - с. 2909-2912.
23. Первеев А.Ф., Золотарев В.М., Егоров П.П., Муранова Г.А. Влияние сорбированной воды на оптические характеристики одиночных слоев и многослойных интервенционных систем. // О и С- 1972. -Т 32. вып.3. -с. 607-612.
24. Брик Е.Б., Просовский О.Ф. Определение характеристик пористости вакуумных конденсатов. // ОМП. -1990. -№7. -с. 61-64.
25. Добычин Д.П., Погодаев А.К. Измерение пористой структуры и свойств просветляющих слоёв в результате термической обработки. // ОМП. -1959. №12. - с. 25-29.
26. Погодаев А.К. Влияние влажной атмосферы и температуры на оптические свойства тонких слоев. // ОМП. -1950. -№2. с. 49-53.
27. Брик Е.Б. Влияние температуры подлоги на плотность плёнок оксида алюминия. // OМП. -1990. -№1. - c. 57.
28. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. -М.: Наука 1975. - 855 с.
29. Альперович Л.И., Пушкарёв В.Н. Определение оптических постоянных тонких плёнок из спектров отражения методом Крамерса-Кронига. // О и С. -1979. - Т.47, №5. С. 932-936.
30. Пантелеев Т.В., Черенков М.Г., Ямпольский В.И., Перов В.Н. Методика определения дисперсии показателя преломления пленочных покрытий ив спектров пропускания. // О и С. -1982. -Т.53, №2. -С. 331-333.
31. Черемухин Г.С., Рожнов В.П. Расчёт толщины показателя преломления тонкой прозрачной плёнки на примере окиси циркония и титана. // ОМП. -1979. - №1. - С. 3.
32. Кондратенко B.C., Малащенко А.Т., Сердюков А.Н., Федосенко Н.Н. //Лазерное напыление покрытий на поверхности кристаллов КДР. /Электронная техника. Серия 2. Лазерная техника и оптоэлектроника. -1985. -№4(35). - С. 93-97.
33. Малащенко А.Т., Пенязь В.А., Федосенко Н.Н., Шолох В.Г. ИК-спектральный анализ тонких плёнок двуокиси кремния. / Тез. Докл. 20 Всесоюзного съезда по спектроскопии (г. Киев,1988). - Киев, - 1988. Ч.2 - с. 320.
Размещено на Allbest.ru
...Подобные документы
Методы получения пленок. Вакуумные. Вакуумно-термическое испа-рение. Его разновидности: лазерное, электронно-лучевое, "взрывное". Осо-бенности испарения сплавов и композиционных смесей. Типы и конструкции испарителей. Плазменные методы получения пленок.
реферат [568,5 K], добавлен 03.01.2009Изучение износостойких нанокомпозитных покрытий с использованием методов магнетронного распыления и вакуумно–дугового разряда. Изучение влияния содержания нитрида кремния на твердость покрытия. Измерение микротвердости поверхностного слоя покрытий.
курсовая работа [830,3 K], добавлен 03.05.2016Применение наплавки для повышения износостойкости трущихся поверхностей в машиностроительном производстве. Технологические процессы лазерной обработки металлов. Технология нанесения покрытий лазерным оплавлением предварительно нанесенного порошка.
реферат [682,4 K], добавлен 22.02.2017Создание защитно-декоративных покрытий на основе жидких лакокрасочных и пленочных материалов. Стадии формирования защитно-декоративных покрытий. Технологический процесс отделки деталей или собранного изделия. Основные и вспомогательные материалы.
курсовая работа [72,2 K], добавлен 09.08.2015Виды и свойства керамических покрытий, способы получения. Электронные ускорители низких энергий в технологиях получения покрытий. Нанесение покрытий CVD-методом. Золь-гель технология. Исследование свойств нанесенных покрытий, их возможные дефекты.
курсовая работа [922,9 K], добавлен 11.10.2011Способ подготовки поверхности алюминиевых сплавов при получении оптически селективных покрытий. Закономерности формирования и оптические свойства оксидных покрытий на алюминиевых сплавах, полученных при поляризации переменным асимметричным током.
автореферат [634,9 K], добавлен 08.12.2011Поверхностное упрочнение твердых сплавов. Упрочнение нанесением износостойких покрытий. Методика нанесения износостойких покрытий на прецизионный твердосплавный инструмент. Оптимизация технологии формирования покрытий на сверлах из твердого сплава.
дипломная работа [6,1 M], добавлен 08.10.2012Изучение наиболее эффективных методов термического напыления: плазменного, газопламенного и детонационного, а также плазменной наплавки для восстановления изношенных деталей. Особенности формирования покрытий при сверхзвуковом газопламенном напылении.
реферат [1,4 M], добавлен 13.12.2017Исследование структуры, фазового состава и свойств покрытий системы Ti–Si–B, полученных электронно-лучевой наплавкой в вакууме и методом электронно-лучевого оплавления шликерной обмазки. Получение и перспективы применения МАХ-материалов на основе титана.
дипломная работа [4,0 M], добавлен 14.06.2013Характеристика, свойства и применение современных износостойких наноструктурных покрытий. Методы нанесения покрытий, химические (CVD) и физические (PVD) методы осаждения. Эмпирическое уравнение Холла-Петча. Методы анализа и аттестации покрытий.
реферат [817,5 K], добавлен 26.12.2013Основные методы и технологии защиты внутренних и внешних поверхностей труб водопроводных и тепловых систем. Кинетика образования диффузионных хромовых покрытий. Особенности нанесения покрытий на трубы малого диаметра. Условия эксплуатации изделия.
дипломная работа [2,1 M], добавлен 22.06.2011Закономерности формирования структуры поверхностных слоев сталей при высокоэнергетическом воздействии. Технологические варианты плазменного упрочнения деталей. Получение плазмы. Проведение электронно-лучевой и лазерной обработки металлических материалов.
дипломная работа [1,4 M], добавлен 06.10.2014Определение и виды лакокрасочных покрытий. Методы их нанесения. Основные свойства лакокрасочных покрытий. Их промежуточная обработка. Защита материалов от разрушения и декоративная отделка поверхности как основное назначение лакокрасочных покрытий.
контрольная работа [172,4 K], добавлен 21.02.2010Значение подготовки поверхности окрашиваемых материалов для получения качественных покрытий. Способы подготовки поверхности перед окраской. Структура многослойных покрытий и процессы пленкообразования. Классификация и хранение лакокрасочных материалов.
реферат [31,4 K], добавлен 11.10.2013Технологии, связанные с нанесением тонкопленочных покрытий. Расчет распределения толщины покрытия по поверхности. Технологический цикл нанесения покрытий. Принципы работы установки для нанесения покрытий магнетронным методом с ионным ассистированием.
курсовая работа [1,4 M], добавлен 04.05.2011Определение и общая характеристика способа наплавки покрытий. Подготовка материалов и заготовок к наплавке. Классификация и применение электродуговой наплавки. Ее технологические особенности и расчеты. Сущность электродуговой наплавки под слоем флюса.
реферат [918,4 K], добавлен 16.03.2012Создание технологической схемы малоотходной технологии производства покрытий. Расчет материальных балансов процессов. Выбор основного и вспомогательного оборудования для процессов получения покрытий, очистки СВ и воздуха. Основы процесса цинкования.
дипломная работа [1,2 M], добавлен 26.10.2014Каталитическое сжигание метана. Поиск методов снижения концентрации оксидов азота. Условия приготовления и исследование физико-химических характеристик палладиевого и оксидного катализаторов, нанесенных на ячеисто-каркасный металлический носитель.
дипломная работа [3,7 M], добавлен 19.12.2011История возникновения и развития технологии напыления, ее современные методы, преимущества, недостатки. Классификация процессов газотермического напыления покрытий. Основные виды установок напыления. Схема универсальной установки газопламенного напыления.
курсовая работа [309,1 K], добавлен 17.10.2013Применение ионно-имплантированных структур при изготовлении полупроводниковых приборов. Использование импульсного фотонного отжига для устранения радиационных дефектов в имплантированных слоях. Особенности лазерного воздействия на монокристаллы GaAs.
курсовая работа [6,5 M], добавлен 18.06.2012
