Эллипсометрия неоднородных анизотропных оптических систем и шероховатой поверхности неоднородной подложки

Кривые 1 - при угле падения светового пучка ц= 50° (о);

Кривые 2 - при угле падения светового пучка ц= 60° (х);

Показано, что расчет параметров ПС при значениях локального значения показателя преломления градана no(r)=no, r=a+дn(r ), т.е. при учете распределения показателя преломления по радиальному сечению градана, дает хорошую сходимость результатов, что подтверждает правомерность используемой методики определения оптического профиля градана и топографии поверхности оцениваемой по параметрам ПС.

При создании эллипсометрической аппаратуры для контроля оптических характеристик граданов целесообразно применить двухканальную схему эллипсометра PSA1/CA2 ,где по первому каналу, построенному по фотометрической схеме PSA1, определяется коэффициент пропорциональности Аj и особых требований к фотодетектору не предъявляется. По второму каналу - компенсационную схему измерений PSCA2, в которой для измерений фазового параметра Д(ri) необходимо использовать координатно-чувствительный фотодетектор (мультискан).

Успешное применение эллипсометрических методов технологического контроля качества оптических соединений элементов оптотехники связано с решением целого ряда взаимосвязанных задач, в том числе: выбором метода физико-математического моделирования напряженно-деформированного и физико-химического состояния многослойной отражающей системы: «одно-родная подложка (ОП1) - неоднородный слой (ПС1) - зона оптического кон-такта (ЗОК) поверхности элементов (1,2) - неоднородный слой (ПС2) - однородная подложка (ОП2)» и методики определения ее поляризационно-оптических характеристик, которые, в общем случае, должны решатся в рамках теории эллипсометрии неоднородных анизотропных оптических систем.

Для оценки качества ОС элементов оптотехники, при различных технологических условиях их изготовления и оптического узла в целом, определение поляризационно-оптических характеристик отражающей неоднородной системы можно проводить двумя путями: методом секционирования и методом физико-математического моделирования структуры неоднородной оптической системы, используя при этом модели "эффективной подложки" или "эффективного слоя". В методе "эффективной подложки" многослойная система «ПС1-ЗОК-ПС2-ОП2» описывается эффективным показателем преломления , который для анизотропной однородной подложки можно определить из условия равенства произведений адмиттансов для p- и s-компоненты поляризованного света однородной анизотропной и изотропной подложки:

, .(43)

В методе "эффективного слоя" для системы « ПС1 -ЗОК - ПС2»вводятся эффективный показатель преломления n*ОК и толщина слоя d*ОК неоднородной оптической системы (рис.19, а). Физический смысл этих параметров состоит в том, что модель однородного слоя с параметрами n*ОК и d*ОК и оптическое соединение деталей (ОС) по своим поляризационно-оптическим свойствам эквивалентны.

Рис.19Изменение показателя преломления n(z) в оптическом контакте деталей 1 и 2 (а)и распределение нормальных напряжений в оптических элементах (б, д) после получения оптического контакта при различном направлении прикладываемой нагрузки (в, г).

В рамках этой модели оптического контакта (ОК) можно описывать анизотропные свойства оптического соединения деталей, используя при этом методы эллипсометрических измерений элементов нормированной матрицы отражения объекта измерений М=[сpp, сps, сsp].

Анализ поляризационно-оптических свойств ОС показывает, что полученные значения параметров - показатель преломления n*ОК и толщина d*ОК- дают информацию не только о ЗОК, толщинойdЗОК~30-60 Е и показателем преломления nОК ~1,40ч1,43, но и сильно градиентной области ПС элементов, прилегающей к зоне непосредственного оптического контакта поверхностей деталей 1 и 2 (рис.19, а).

Метод эллипсометрии обладает высокой чувствительностью к изменению двулучепреломления Дn=npN,-nsN, вызванного напряженно-деформированным состоянием детали в оптическом узле, и позволяет определить направление воздействия напряжений q (или механической нагрузки F) в области зоны контакта оптического соединения деталей (ЗОС). В пределах границ применимости теории упругой деформации и напряженного состояния оптической дета-ли, изменение показателя преломления Дn(у) для одностороннего "растяжения" или "сжатия", в первом приближении, будет пропорционально величине напряжений у, определяемых по формулам:

, , (44)

где n - показатель преломления силикатного стекла; npN,,n sN- показатели преломления для поляризованного света с электромагнитными колебаниями параллельными (p) и перпендикулярными (s)направлению действия напряжений; C2 и C1 - фотоупругие постоянные стекла для тех же направлений электромагнитных колебаний; у - величина нормальных напряжений. В теории упругой деформации детали напряжения "сжатия" принято считать отрицательными, а напряжения "растяжения" положительными.

На рис.19 показаны два типа соединений оптических элементов, полученных методом оптического контакта и различающиеся характером напряженно-деформированного состояния. Если в первом случае (рис.19, б, в) характерным изменением величины нормальных напряжений у(y) в оптическом элементе является то, что на одном краю ОС деталей наблюдаются напряжения "cжатия" ("-у"), а на другом краю - напряжения "растяжения" ("+у"), то для другого оптического соединения элементов - в центральной зоне наблюдаются напряжения "сжатия" (у?0), а концах - напряжения "растяжения" (у>0) (рис.19, г, д).

В последнем случае такое изменение у(y)может иметь место при сопряжении двух поверхностей деталей, имеющих отклонение от плоскостности характерное для выпуклой поверхности деталей (рис.19, г), где после релаксации исходного напряженно-деформированного состояния элементов, возникающего при получении оптического контакта (ОК) путем сжимающих силовых нагрузок Fсжим., упругие внутренние напряжения приведут к появлению растягивающих оптическое соединение элементов сил Fраст.. Знакопеременный характер изменения у(y) можно отнести также к оптическим соединениям деталей, поверхности которых имеют клиновидность и (рис.19, в). Естественно, что напряженно-деформированное состояние оптических соединений будет определяется не только макро- и микрогеометрией поверхности деталей, но и физико-химическим состоянием ПС, которое оценивается по поляризационно?оптическим параметрам, определяемым по методике эллипсометрического анализа многослойной неоднородной системы.

Для получения ОК деталей необходимо иметь в приповерхностной области ультра микропористую структуру кремнезема, которую можно получить не только жидкостным химическим травлением силикатного стекла, но и при ионно-химической обработке поверхности элементов оптотехники в атмосфереСF3Cl (хладон-13) или при распылении нарушенного ПС полированного стекла К8 пучком ионов Ar+.Если в последнем случае микропористая структура ПС образуется за счет преимущественного физического распыления из приповерхностной области более легких по атомной массе компонентов натриево-силикатного стекла, то при ионно-химической обработке при соударении ионов с поверхностью детали происходит ее активизация с последующим химическим взаимодействия ионов плазмы с атомами ПС и образованием летучих соединений удаляемых с поверхности элемента.

При ионной и ионно-химической обработке формируется двухслойная структура ПС: в приповерхностной области образуется слой с показателем преломления n(z)<no, а глубине ПС формируется область с показателем преломления n(z)>no. Поэтому в зоне контакта оптического соединения двух элементов может существовать многослойная структура. Относительно введенных оптических характеристик зоны контакта поверхности оптических элементов не сложно установить корреляционные связи между технологическими режимами обработки поверхности деталей и физико-химическими свойствами ПС элементов, используемых для их оптического соединения. Это позволяет по предложенной методике эллипсометрического анализа оптических свойств ОC и его параметрам давать объективную оценку технологии изготовления оптического узла многоэлементной системы.

В приложении изложены методы метрологической аттестации эллипсометрической аппаратуры. Также представлены акты внедрения научно-технических достижений полученных по результатам диссертационной работы.

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

На основании проведенных в диссертационной работе исследований можно сделать следующие выводы:

1. Разработан методический подход к решению задачи отражения поляризованного света от неоднородных анизотропных слоев, основанный на применении теории малых возмущений к рекуррентным соотношениям Абеле. Метод позволил, с одной стороны, обобщить ранее существующие теории отражения поляризованного света Друде-Борна,с другой - получить в аналитическом виде уравнение эллипсометрии для поверхностных слоев с произвольным законом изменения главных значений тензора диэлектрической проницаемости и угла ориентации оптической осипо глубине поверхностного слоя одноосного кристалла. Определены границы области применимости макро- и микроскопических моделей неоднородного поверхностного слоя с учетом метрологических возможностей используемой измерительной аппаратуры.

2. В рамках теорий отражения света Друде-Борна и Релея-Райса разработан методический подход к решению задачи отражения поляризованного света от шероховатой поверхности неоднородной подложки, на основании которого получено уравнение эллипсометрии и разработана методика определения среднеквадратической высоты шероховатой поверхности оптических элементов в диапазоне у=5ч110Еи длины пространственной корреляции шероховатости в диапазоне г=0,03ч1 мкм. Достоверность результатов эллипсометрических измерений параметров шероховатой поверхности оптических элементов подтверждена данными полученными методами профилометрии, спекл-интерферометрии и по анализу измеренных значений диффузной составляющей рассеянного излучения.

3. В рамках широкого круга физико-математических моделей отражающих систем изучены основные закономерности изменения состояния поляризации отраженного светового пучка от неоднородных поверхностных слоев и шероховатых поверхностей оптических элементов. Установлено, что состояние поляризации отраженного светового пучка и величина отклонения угла наибольшей поляризации излучения относительно угла Брюстера определяется структурой неоднородной отражающей системы. Это позволяет при многоугловых, иммерсионных или спектральных поляризационных измерениях различать эффекты в изменении состояния поляризации отраженного светового пучка вызванные наличием на оптических элементах поглощающих, анизотропных, неоднородных слоев с различным видом оптического профиля и различным видом корреляционной функции шероховатой поверхности.

4. Разработан эллипсометрический метод диагностики физико-химического состояния поверхности оптических элементов, позволяющий определять экспериментальные условия, при которых имеется принципиальная возможность сравнивать различные по своему физическому содержанию модели поверхностного слоя при наименьшей вероятности ошибки в оценке их адекватности объекту исследования и проводить высокоточные измерения оптических параметров поверхностных слоев элементов оптотехники при экспериментальных условиях наилучшим образом обеспечивающих метрологические возможности используемой аппаратуры.

5. Получено уравнение эллипсометрии для отражающей системы «неоднородная пленка - неоднородная подложка», на основе которого развит способ определения оптических характеристик неоднородной многослойной системы по методу секционирования, минуя стадию эллипсометрического анализа модели нижележащей отражающей системы. Показано, что при ионно-плазменном распылении кварцевого стекла происходит образование дискретной и континуальной неоднородности в модифицированной ионами Ar+ структуре поверхностного слоя, описание оптических свойств которых должно проводится одновременно в рамках макро- и микроскопических подходов к анализу состояния поляризации отраженного светового пучка. Двухстадийное ионно-плазменное распыление поверхностного слоя кварцевого стекла и последующий низкотемпературный отжиг позволяет получить элементы с минимальными потерями излучения в ВУФ области спектра.

6. Разработан неразрушающий метод реконструкции профиля показателя преломления маломодовых волноводных поверхностных слоев, основанный на совместном решении обратной задачи ВКБ и эллипсометрии. Показано, что вид оптического профиля поверхностного слоя согласуется с концентрационным профилем фтора, полученным методом ядерной реакции 19F(p,б,г)16O. Результаты исследования оптических характеристик и элементного состава поверхностных слоев при различных воздействиях окружающей среды и тепловой низко-температурной обработки позволяют рассматривать гидролизный механизм физико-химических процессов образования волноводных поверхностных слоев на фторсодержащих стеклах как превалирующий над эффузионным.

7. Методами эллипсометрии, оптической ИК спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии, электронной Оже-спектрометрии и ВИМС показано, что физико-химические процессы нестационарного выщелачивания поверхностного слоя силикатных стекол, протекающие при жидкостной химической, ионно-плазменной, ионно-химической и электронно-лучевой обработки, характерной особенностью которого является удаление щелочных катионов из приповерхностной области, приводят к образованию двухслойной структуры поверхностного слоя: образованию в приповерхностной области выщелоченного слоя с показателем преломления меньше объемного значения и сегрегации в глубине поверхностного слоя щелочных компонентов приводящей к образованию области ПС с показателем преломления больше объемного значения.

8. Разработана методика определения показателя ослабления излучения в стекле и потерь излучения в поверхностном слое детали, основанная на совместном использовании методов эллипсометрии и спектрофотометрии, что позволяет по оптическим характеристикам поверхностного слоя и показателю ослабления излучения в оптической детали судить о качестве изготовления элементов ионных лазеров.

ОСНОВНЫЕНАУЧНЫЕТРУДЫПОТЕМЕДИССЕРТАЦИИ

1. Храмцовский И.А., Разумная М.Л. Применение трехзеркального резонатора в установке для измерения оптических потерь // ОМП. 1983. №5. С.38-41.

2. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Исследование потерь излучения на оптических элементах в зависимости от физических параметров поверхностного слоя // ОМП. 1983. № 12. С.5-7.

3. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Роль удельного давления в формировании оптических свойств поверхностного слоя при полировании кварцевого стекла // ОМП. 1986. №12. С.26-28.

4. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Мишин А.В., Каданер Г.И., Кислов А.В.

Определение фотометрических характеристик калиброванных ослабителей излучения оптико-поляризационными методами // Тезисы VI Всесоюзной конференции «Фотометрия и ее метрологическое обеспечение» М.: ВНИИ ОФИМ. 1986. С.186.

5. Храмцовский И.А. , Пшеницын В.И., Мишин А.В., Холдаров Н.Х. Исследование оптических свойств и состава поверхности стекол методами эллипсометрии и Оже-спектроскопии // Тезисы VIII Всесоюзного совещания «Стеклообразное состояние» . Л.:«Наука» ЛО. 1986. С.399-400.

6. Мишин А.В., Холдаров Н.Х., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Применение эллипсометрии и Оже-спектроскопии для исследования оптических и спектральных свойств поверхности стекол // Тезисы VI Всесоюзного симпозиума «Оптические и спектральные свойства стекол». Рига: ЛГУ им. П.Стукчи, СССР. 1986. С.144.

7. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Влияние полирующего абразива на оптические характеристики поверхностного слоя // ОМП. 1987. №o7. С.29-31.

8. Храмцовский И.А., Мишин А.В., Пшеницын В.И. Использование методов эллипсометрии и ВКБ для определения оптического профиля волноводных слоев // Письма в ЖТФ. 1987. вып.13. С.1230-1235.

9. Пшеницын В.И., Холдаров Н.Х.,Храмцовский И.А., Калинина М.А., Тихомирова Н.И. Изменение оптических характеристик поверхностного слоя стекла при полировании // ОМП. 1987. №8. С.28-31.

10. Игнатьева З.С., Салыганов В.И., Травкин С.П., Храмцовский И.А. Исследование свойств окисных пленок на ферритах методом эллипсометрии // Сб.: Эллипсометрия в науке и технике / Под ред. К.К. Свиташева и А.С.Мардежева . Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1987.С.158-160.

11. Пшеницын В.И., Мишин А.В., Храмцовский И.А., Банщиков А.Г.,Холдаров Н.Х., Толмачев В.А., Калинина М.А. Применение эллипсометрии и Оже-спектроскопии для исследования поверхности стекол // Сб.: Эллипсометрия в науке и технике / Под ред. К.К. Свиташева и А.С. Мардежева. Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1987. С.142-150.

12. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Каданер Г.И., Кислов А.В. Учет оптических характеристик поверхностного слоя при определении коэффициентов отражения и пропускания прозрачных диэлектриков // ЖПС. 1987. Т.46. №2. С.272-279.

13. Антонов В.А., Пшеницын В.И., ХрамцовскийИ.А. Уравнение эллипсометрии для неоднородных и анизотропных поверхностных слоев в приближении Друде-Борна // Опт. и спектр. 1987. Т.62. вып.4.С.828-831.

14. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Мишин А.В., Толмачев В.А., Холдаров Н.Х. Исследование поверхностных слоев свинцовосиликатного стекла методом эллипсометрии // Физика и химия стекла. 1987. Т.13. №1. С.104-111.

15. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Новый подход к эллипсометрии реальной поверхности оптических материалов // Сб: Эллипсометрия: теория, методы, приложение / Под ред. А.В.Ржанова и Л.А. Ильина. Новосибирск: «Наука». 1987. С.8-14.

16. Храмцовский И.А., Вощенко Т.К., Черезова Л.А., Пшеницын В.И., Апинов А.А. Изменение оптических свойств поверхностного слоя при ионно-плазменном распылении кварцевого стекла // Опт. и спектр. 1988. Т.65. вып.1. С.141-145.

17. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И., Степанов В.А., Мошкаров Ю.Г., Цымбал В.А. Исследование оптических характеристик и состава поверхностного слоя микропористого стекла // Физика и химия стекла. 1988. Т.14. №2. С.240 -245.

18. Черезова Л.А., Вощенко Т.К., Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Изменение оптических и спектральных свойств стекол при ионной и ионно?химической обработке // Тезисы VII Всесоюзного симпозиума «Оптические и спектральные свойства стекол». Л.: ИХС ЛО АН СССР. 1989. С.197.

19. Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Методы эллипсометрического анализа неоднородных поверхностных слоев и шероховатых поверхностей //Сб.: Эллипсометрия: теория, методы, приложение / Под ред. К.К. Свиташева. Новосибирск: «Наука», 1991. С.20-33.

20. Алексеев С.А., Колосов А.М., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Определение глубины трещиноватого слоя полированной поверхности кварцевого стекла методом ИК эллипсометрии // Стекло и керамика. 1992. №8. С.6-8.

21. Горляк А.Н., Крылова Н.А., Подсекаев А.В.,Туркбоев А., Храмцовский И.А. Эллипсометрия градиентных оптических элементов//Труды Международной конференции "Прикладная оптика - 98". CПб. 1998. С.12.

22. Аммас М.М., Лисицын Ю.В., Подсекаев А.В., Туркбоев А., Храмцовский И.А. Исследование поверхностных слоев фторсодержащих материалов // Вопросы материаловедения. 2000. №1 (21). С.58-63.

23. Алексеев С.А., Крылова Н.А., Миронов А.О., Туркбоев А., Храмцовский И.А. Применение метода секционирования при контроле окисных покрытий на ферритах // Вопросы материаловедения. 2000. №1(21). С.63-65.

24. Акользин П.Г, Колосов С.В, Голоднов Д.В., Туркбоев А., Храмцовский И.А Особенности измерения параметров шероховатой поверхности диэлектриков и полупроводниковых материалов // Вопросы материаловедения. 2000. №1(21). С.66-69.

25. Аммас М.М., Горляк А.Н., Подсекаев А.В., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Измерение локальных значений показателя преломления неоднородных сред методом эллипсометрии // Труды VIII Международной конференции «Оптические, радиоволновые и тепловые методы и средства контроля качества материалов, промышленных изделий и окружающей среды»: Ульяновск. 2000. С.48-50.

26. Демидов И.В., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Фан Ли Шуан Применение эллипсометрии в контроле оптических характеристик неоднородных поверхностных слоев // Межвузов. Сб: Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий / Под ред. А.И. Потапова. СПб: СЗТУ. 2001. вып.1.С.3-10.

27. Демидов И.В., Лисицын Ю.В.,Храмцовский И.А., Шеломова О.А. Особенности применения метода Фурье спектроэллипсометрии в технологическом в контроле клеевых соединений оптических элементов автоклавируемых трубок // Научно-технический вестник СПб ГУ ИТМО: Оптические при-боры, системы и технологии / Гл. ред. В.Н.Васильев. СПб: ГИТМО (ТУ).2002. вып. 5. С.148-152.

28. Новиков А.А., Леонов С.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Анализ технологических особенностей изготовления и контроля микроканальных пластин для электронно-оптических преобразователей излучения // Научно - технический вестник СПб ГУ ИТМО: Оптические приборы, системы и технологии / Гл. ред. В.Н.Васильев. CПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2002.вып. 5. С.164-167.

29. Плотников В.В., Прокопенко В.Т., Тимошенко А.М., Храмцовский И.А. Диагностика шероховатой поверхности элементов оптоэлектроники методом эллипсометрии // Труды V Международной конференции «Прикладная оптика - 2002»: Оптическое приборостроение. СПб. 2002. Т.1. С.136.

30. Демидов И.В., Лисицин Ю.В., Михайлов Ю.В., Храмцовский И.А. Определение пространственной частоты передачи изображений градиентными оптическими элементами методами эллипсометрии // Труды V Международной конференции «Прикладная оптика-2002»: Оптическое приборостроение. СПб. 2002. Т.1. С.156.

31. Плотников В.В., Заморянская М.В., Храмцовский И.А. Анализ дефектов структуры Si-SiO2 методами эллипсометрии и катодолюминисценции //Оптические методы исследования дефектов и дефектообразования микроэлектроники и микросенсорной техники / Под ред. Гатчина Ю.А. и Ткалич В.Л.. СПб: ГИТМО (ТУ). 2002. С.784-786.

32. Новиков А.А., Прокопенко В.Т.,Храмцовский И.А. Оптические свойства шероховатой поверхности элементов оптоэлектроники // Научно-технический вестник СПб ГУ ИТМО: Теория и практика современных технологий / Гл. ред. В.Н.Васильев, СПб: CПб ГУИТМО. 2004.С. 73-80.

33. Прокопенко В.Т., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Диагностика состояния поверхности элементов оптоэлектроники методами эллипсометрии и ядерно-физической спектроскопии // Труды VI Международной конференции «Прикладная оптика»: «Оптические материалы и технологии», СПб, 2004. Т.2. С.184.

34. Гарин П.Л., Лисицын Ю.В., Новиков А.А., Трухин М.М., Храмцовский И.А. Определение обобщенного показателя качества соединений деталей методом эллипсометрии // Труды VI Международной конференции «Прикладная оптика»: Оптические материалы и технологии, СПб. 2004. Т.2. С.156.

35. Землянский В.С., Новиков А.А., Степанчук А.А., ХрамцовскийИ.А. Поляризационно-оптические методы контроля физико-химического состояния поверхности элементов в оптических соединениях деталей // Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика - 2006»: Компьютерные технологии в оптики. С-Пб. 2006. Т.3. С.248.

36. Прокопенко В.Т., Пшеницын В.И., Храмцовский И.А. Теоретические аспекты метода эллипсометрии шероховатых поверхностей и неоднородных анизотропных слоев элементов оптоэлектроники // Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика - 2006»:Компьютерные технологии в оптики. С-Пб. 2006. Т.3. С.247.

37. Землянский В.С., Новиков А.А., Степанчук А.А., Храмцовский И.А. Критерии качества оптических элементов ионных и эксимерных лазеров выполненных из кристаллического и плавленного кварца // Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика - 2006»: Оптические материалы и технологии. С-Пб. 2006. Т.2. С.55.

38. Горляк А.Н., Новиков А.А., Храмцовский И.А. Диагностика состояния поверхности оптоэлектроники модифицированных ионными и электронными пучками// Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика -2006»: Оптические материалы и технологии. С-Пб. 2006. Т.2. С.56.

39. Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А Определение потерь излучения на оптических элементах методами эллипсометрии и спектрофотометрии // Приборостроение. Изв.ВУЗОВ. 2007. Т.50.№3.С.62.

40. Гарин П.Л., Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Исследование оптических свойств поверхностных слоев в процессе стационарного и нестационарного выщелачивания силикатных стекол // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2007. Т.50. №7, С.23-30.

41. Новиков А.А., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А Оптические свойства поверхностных слоев силикатных стекол при ионной и электронно-лучевой обработки // Приборостроение. Изв.ВУЗОВ, 2007. Т.50. №8. С.54-60.

42. Храмцовский И.А., Пасяда А.В. Отражение поляризованного света от неоднородного анизотропного поверхностного слоя// Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2007. Т.50. №12, С.40-46.

43. Golyak A.N., Cramtsovsky I.A.The ellipcometry of the roug suface on an inhomogeneous substrate // 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry «ICSE 4», Program & Abstracts, June 11-15. 2007. Stockholm. Sweden. 1st Poster Session. MoP.42, Р.74.

44. Землянский В.С., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Степанчук А.А. Пшеницын В.И, Влияние окружающей среды на физико-химическую структуру фторсодержащего силикатного стекла // «Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий», 2007.вып 14. С.194-206.

45. Степанчук А. А., Сычев М. М., Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А. Исследование оптической неоднородности физико-химической структуры парофазного стекла // «Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий» / Под ред. А.И.Потапова, СПб: СЗТУ. 2007. вып.14. С.184-193.

46. Землянский В.С., Новиков А.А., Храмцовский И.А., Степанчук А.А. Особенности физико-математического моделирования структуры неоднородных поверхностных слоев элементов оптоэлектроники // «Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий» / Под ред. А.И.Потапова. СПб:СЗТУ. 2007. вып.14. C.207- 216.

47. Землянский В.С.,Степанчук А.А., Храмцовский И.А.,Горляк А.Н. Эллипсо-метрический метод технологического контроля элементов лазерной техники и градиентной оптики // Научно-технический вестник СПб ГУ ИТМО: Современные технологии, 2007. вып 43. С. 81-87.

48. Степанчук А.А., Сычев М,М, Землянский В.С., Пшеницын В.И.,Храмцовский И.А., Туркбоев А., Гидролизный механизм формирования волноводных слоев в фторсодержацих системах// Научно-технический вестник СПб ГУ ИТМО : Современные технологии, 2007. вып 43. С. 97-104.

49. Землянский В.С., Пшеницын В.И., Степанчук А.А., Храмцовский И.А. Исследование кинетики и физико-химического механизма формирования поверхностных слоев фторсодержащих стекол// Физика и химия стекла. 2008.

Т.34. №2. С.170-181.

50.Землянский В.С., Степанчук А.А., Сычев М.М., Храмцовский И.А. Влияние физико-химической структуры поверхностного слоя кварцевого стекла на потери излучения в УФ области спектра // Физика и химия стекла. 2008. Т.34, №3, С.326-335.

51. Прокопенко В.Т., Храмцовский И.А., Землянский В.С., Лисицын Ю.В., Секарин К.Г. Эллипсометрия оптических соединений элементов оптоэлектроники // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2008. Т.51. №10. С.59-67.

52. Землянский В.С.,Храмцовский И.А.,Горляк А.Н.,Степанчук А.А. Методы эллипсометрического анализа неоднородных поверхностных слоев эле-ментов оптоэлектроники // Опт. и спектр. 2008. Т.105.№ 2. С.346-351.

53.Новиков А.А., Храмцовский И.А., Иванов В.Ю., Федоров И.С., Туркбоев А. Эллипсометрия неоднородных поверхностных слоев анизотропных оптических элементов // Приборостроение. Изв. ВУЗОВ. 2009. Т.52. № 1. С.62 -68.

54. Gorlyak A.N., Khramtsovskij I. A. Diagnostics ofthe physicochemical state of the surface of optoelecronics elements by ellipsometry method // 5 th Workshop Ellipsomtry / Germaniy. Zweibruecken. 2009. P.63.

55. Храмцовский И.А., Трофимов В.А., Секарин К.Г., Степанчук А.А. Методы многоугловой и иммерсионной эллипсометрии // Меж.вуз. Сб.: Неразрушающий контроль и диагностика окружающей среды, материалов и промышленных изделий / Под ред. А.И. Потапова. СПб: СЗТУ. 2009. вып.16. С.93 -101.

Размещено на Allbest.ru